• Edwards 高级诊断服务

    FabWorks-iMS 高级诊断服务 (EADS) 提供多参数算法以预测真空泵和减排设备中制程相关问题的发作。这些服务可以通过以下方式显著降低成本并提高生产率:

    • 最大限度地减少晶圆报废批次数量和工具计划外停工;
    • 最大限度地提高晶圆处理能量/产量;
    • 根据需要维修设备,从而降低总体拥有成本 (TCO)。

    型号:
    提供一系列 FabWorks-iMS EADS 型号:

    • 干泵沉积
    • 增压泵沉积
    • 减排燃烧器堵塞
    • 排气/捕集阱堵塞
    • 涡轮系统污染(正在开发)
    • 涡轮系统泄漏检测(正在开发)

    对于每个型号,通常有两个级别的三种警报。

    EADS_Warning_Table

  • 我们的历史

    当 F.D.Edwards 从 1939 年开始制造真空设备直到现在,他所做出的技术创新承诺一直被秉承为我们的工作核心。

    了解我们历史的相关详情