• EPX 180真空干泵

    EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用,如灰化/剥离和注入端点 站应用。

    EPX 系列以极轻、极小的 封装提供工具上泵送功能,可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获专利的独特单轴再生 Holweck® 分级机构, 能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。

    EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能,既可集成到制程工具,又可以远程 安装。此外,通过集成的 MicroTIM 电子模块还可以与制程工具 轻松建立通信连接。



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  • 应用
    主要特性和优势
    泵系列
  • 我们的历史

    Edwards 从 1939 年开始制造真空设备直到现在,他所做出的技术创新承诺一直被秉承为我们的工作核心。

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