Exhaust Management Solutions
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空气污染控制工程
我们是废气管理解决方案领域的全球领导者。我们的目标远不止分解有毒并导致全球变暖的气体,这些气体有害于我们的环境。
我们是应用专家,了解客户的制程,并据此开发出注重保持生产效率并降低风险的解决方案。所有居于领先地位的制程工具 OEM,以及全球每一家主要半导体工厂都采用了我们的产品,因为它们能够满足成熟制程与发展中制程的具体要求。
我们的解决方案将会提升制程正常运转时间、产量、吞吐量与安全认证水平,同时通过减少不利于环境的排放、延长产品使用寿命并降低持续服务成本,来协调平衡与上述目标相互冲突的更低拥有成本要求。
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ATLAS
适用于半导体、平板显示器、光电和 LED 市场的 Atlas 系列。
- Atlas - 内向点火燃烧器技术
- Atlas 刻蚀法 - 无与伦比的 CF4 和其他高 GWP 气体清除性能
- Atlas FPD 刻蚀法 - 适用于处理较高流量和腐蚀性制程
- Atlas Helios - 适用于光电和氮化物制程
SPECTRA
适用于平板显示器、光电和 LED 市场的 Spectra 系列。
- Spectra G - 适用于 GaN 制程的清洁减排
- Spectra Z - 独特的 4 阶段燃烧技术,适用于处理大量易着火材料
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我们的历史
Edwards 从 1939 年开始制造真空设备直到现在,他所做出的技术创新承诺一直被秉承为我们的工作核心。
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