空气污染控制工程

我们是废气管理解决方案领域的全球领导者。我们的目标远不止分解有毒并导致全球变暖的气体，这些气体有害于我们的环境。

我们是应用专家，了解客户的制程，并据此开发出注重保持生产效率并降低风险的解决方案。所有居于领先地位的制程工具 OEM，以及全球每一家主要半导体工厂都采用了我们的产品，因为它们能够满足成熟制程与发展中制程的具体要求。

我们的解决方案将会提升制程正常运转时间、产量、吞吐量与安全认证水平，同时通过减少不利于环境的排放、延长产品使用寿命并降低持续服务成本，来协调平衡与上述目标相互冲突的更低拥有成本要求。