• Gamma Vacuum 钛升华泵 - 高真空和极高真空技术

    从便携式质谱分析仪到大型粒子 加速器,捕获泵送技术可为多种应用创建 高真空 (HV)和超高真空 (UHV) 环境。它们能 以经济的成本创建尽可能低的真空。 

    Edwards 通过 Gamma Vacuum 独家提供一系列离子泵、钛升华泵、非蒸散型吸气剂泵和附件。

    离子泵
    离子泵也称为溅射离子泵或离子吸气剂 泵,属于俘获型泵,这种泵使用阳极/阴极阵列将气体离子化。 离子会溅射活性阴极材料,导致化学反应,将离子化气体转变为固体 化合物。 这些化合物不会再在真空系统中形成压力,而是被永久捕获 在离子泵内。离子泵的 工作压力范围为 10-5 至 10-12 mbar,可处理 0.2 至 1,200 l/s 的氮气。

    钛升华泵
    TSP 的工作原理是加热钛丝并将 钛分子升华(从固相到气相的转化)到某个表面上。升华的 钛分子随后可用于与活性气体(如氧气和氮气)发生化学 反应,并分离和扩散出氢。  TSP 的工作压力范围为 10-5 至 10-12 mbar, 氢气抽取速度超过 10,000 l/s。

    非蒸散型吸气剂泵
    NEG 是被压到固态 基板上或烧结成盘状的活性金属。 已发现锆、钒和铁的特定组合最适合 HV 和 UHV 环境。使用的 材料量控制 NEG 泵的速度和容量,但 范围一般为 50 至 3,500 l/s 的氢。当 NEG 与气体饱和时,它们 可以再活化而不向大气中排放废气。

    下载下面的 Gamma 产品手册或访问 Gamma 的 网站以了解更多信息。

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  • 我们的历史

    Edwards 从 1939 年开始制造真空设备直到现在,他所做出的技术创新承诺一直被秉承为我们的工作核心。

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  • 视频:离子泵的工作原理

  • 视频:钛升华泵操作