真空镀膜制程需要结合使用粗抽真空泵
与高排量鼓风机将主负载舱室快速抽空到
一定程度的压力。后续阶段需要
将舱室抽空到高真空并注入制程气体，然后
抽出制程气体，同时确保基板上获得稳定且均匀的
镀膜。有多种镀膜应用，包括：
- 玻璃镀膜 - 经济高效的油封技术
和环境友好的干泵技术
- 光学镀膜 - 紧凑且经济高效的真空泵
系统
- 反射镀膜 - 大容量和高吞吐量
主泵和次级泵
- 粘辊 - 具有灵活的远程监视和控制功能
的智能泵
- 太阳能镀膜 - 低噪声、低功耗、低环境
影响的系统
- 薄膜覆层 - 适用于快速循环制程的智能
模块化泵系统