• 适用于 LED 制造的重型真空泵和减排系统解决方案

    相对于其他照明技术而言,LED 具有显著 优势,因而对 LED 的需求出现了爆炸性增长。例如,与白炽灯泡相比,其使用 寿命长 10 倍,并且消耗的能量减少 四分之一。照明 可能性无穷无尽,尺寸越来越小,切换速度越来越快,输出越来 越高,LED 制造商面临既要满足高制程需求,又要降低 制造成本的挑战。 

    较短波长的 LED(绿-蓝)使用基于氮化物的 材料,而较长波长的 LED(红-黄)使用基于磷化物的 材料。在真空泵和减排系统 选择方面,每种材料都会造成独特的制程挑战,因为使用的 许多材料都特别有害或处理起来特别危险。 

    我们在半导体领域积累的丰富经验使得 我们在支持 LED 制造商在其制程中采用更多晶圆加工技术 (例如刻蚀、PECVD 和 ICP 芯片生产)方面具有 独特优势。我们的真空和减排 产品能够在整个关键制程中高度安全、 有效地同时处理高的氢气和氨气 流速。 

    LED 制造制程通常对高流量的轻氢和高度 腐蚀性的氨气使用 MOCVD,我们的产品系列中 采用的先进技术已进行优化以满足这些 挑战。我们的 iHiXHiXL 干泵 系列均具有更高的粉末处理能力和高的腐蚀性 气体耐受性,同时具有更小的占地面积和重量。最新的 STP maglev 涡轮分子 泵系列是紧凑型低功耗“一体化”解决方案,适用于 大容量、高流量应用。 

    减排产品包括我们备受赞誉的 Spectra-G 3000,此产品 适合在 GaN 应用中处理高气体容量,最多允许连接 六个 MOCVD 工具。为了 便于使用,在使用高氢气流量的 GaAs 应用中得到 验证的 Atlas™ 采用 Alzeta™ 内点火燃烧技术 以显著降低拥有成本。我们的所有减排系统都能够减轻运行过程中对环境 造成的影响,并可降低运营成本。 

    随着 LED 制造技术的发展,Edwards 也在 不断发展,我们是关键发展动力,我们的产品在客户走向成功的过程中 发挥了重要作用。我们的目标 是为客户提供真实收益,从而让未来世界变得 更清洁、更明亮。我们的应用专家可在 LED 制造制程的所有阶段 为您建议最合适的产品以满足您的需求。 

           

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