• 世界一流解决方案 | 需求最大的产品

    • Product_Rotator_Gamma_Ion Gamma 的 UHV 泵
      在从便携式质谱分析仪到大型粒子加速器,我们可为多种应用程序创建高真空度和超高速真空 (UHV) 环境。
      Find out more
    • Product_Rotator_iXL120 iXL 干泵
      包括在平板显示器 (FPD) 和太阳能制造市场领域中遇到的所有排气要求。
      Find out more
    • Product_Rotator_IPUP2 IPUP2 干泵
      紧凑型低功耗的 180 m3/h 干泵适用于晶圆加工和其他清洁工作应用。以低能耗快速抽空负荷固定仓。 
      Find out more
    • Product_Rotator_CXS_Pump CXS 干泵
      泵的抽空可靠性高,同时不会产生废水,即使面对最苛刻的化学和医药加工应用也有出色表现。
      Find out more
    • Product_Rotator_Atlas_Abatement Atlas 减排
      燃烧气体清理系列解决方案可帮助半导体、平板显示器、太阳能和 MOCVD 的制造商降低运营成本,增强易用性。
      Find out more
    • Product_Rotator_EPX_Pump EPX 干泵
      支持清洁和轻型半导体工艺应用,如灰化/剥离和注入端点站应用。
      Find out more
    • Product_Rotator_GXS_Pump GXS 干泵
      独特的螺旋技术和领先的高效驱动;采用了先进的温度控制功能,维修间隔长;确保最佳抽取速度和低运行成本。
      Find out more
    • Product_Rotator_IXH_Pump iXH 干泵
      高峰值抽速;配有确保严苛工艺获得最高可靠性的功能。满足在 FPD、太阳能半导体和 LED 生产行业中遇到的不断提高的气体流速要求。 
      Find out more
    • Product_Rotator_nEXT_Pump nEXT Turbo 泵
      nEXT 为科研 Turbo 泵设立了新基准,提供具有高性能、可靠性和最终用户可维护性的最佳 Turbo 泵。
      Find out more
    • Product_Rotator_nXDS_Pump nXDS 涡旋泵
      nXDS 具备出色的抽排能力、极限真空性能和最先进的设计特性,性能居同类产品之首。
      Find out more
    • Product_Rotator_SpectraG_Abatement Spectra G 减排
      Spectra-G 是用于氮化物 MOCVD 制造的一种具有成本效益的高性能排气处理解决方案。
      Find out more
    • Product_Rotator_STP_Pump STP Turbo 泵
      多轴磁力轴承系统用于在操作期间悬起转轴,确保没有污染风险,同时将振动、噪音以及维护需求降至最低。STP Turbo 泵是长时间无碳氢化合物的泵操作的首选泵。
      Find out more
    • Product_Rotator_iGX iGX 干泵
      iGX 干泵的峰值速度范围很大,并有多种型号可选,能满足各种应用程序的需求,包括从清洁到中等负荷工艺。
      Find out more
    • Product_Rotator_EZENITH EZENITH
      先进的系统组合为您的半导体加工应用提供了完全集成的真空和废气管理解决方案。
      Find out more
    • Product_Rotator_iH1000 iH 干泵
      iH 干泵为高难度的工艺(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品)提供高度可靠、成本低廉的泵解决方案。
      Find out more
    • Product_Rotator_ES_Pump ES 泵
      最大限度提高您的生产效率和性能。对单级油封旋转式叶片泵的重要改进。
      Find out more
    • Product_Rotator_Gamma_Ion Gamma 的 UHV 泵
      在从便携式质谱分析仪到大型粒子加速器,我们可为多种应用程序创建高真空度和超高速真空 (UHV) 环境。
      Find out more
    • Product_Rotator_iXL120 iXL 干泵
      包括在平板显示器 (FPD) 和太阳能制造市场领域中遇到的所有排气要求。
      Find out more
    • Product_Rotator_IPUP2 IPUP2 干泵
      紧凑型低功耗的 180 m3/h 干泵适用于晶圆加工和其他清洁工作应用。以低能耗快速抽空负荷固定仓。 
      Find out more
    • Product_Rotator_CXS_Pump CXS 干泵
      泵的抽空可靠性高,同时不会产生废水,即使面对最苛刻的化学和医药加工应用也有出色表现。
      Find out more
    • Product_Rotator_Atlas_Abatement Atlas 减排
      燃烧气体清理系列解决方案可帮助半导体、平板显示器、太阳能和 MOCVD 的制造商降低运营成本,增强易用性。
      Find out more
    • Product_Rotator_EPX_Pump EPX 干泵
      支持清洁和轻型半导体工艺应用,如灰化/剥离和注入端点站应用。
      Find out more
    • Product_Rotator_GXS_Pump GXS 干泵
      独特的螺旋技术和领先的高效驱动;采用了先进的温度控制功能,维修间隔长;确保最佳抽取速度和低运行成本。
      Find out more
    • Product_Rotator_IXH_Pump iXH 干泵
      高峰值抽速;配有确保严苛工艺获得最高可靠性的功能。满足在 FPD、太阳能半导体和 LED 生产行业中遇到的不断提高的气体流速要求。 
      Find out more
    • Product_Rotator_nEXT_Pump nEXT Turbo 泵
      nEXT 为科研 Turbo 泵设立了新基准,提供具有高性能、可靠性和最终用户可维护性的最佳 Turbo 泵。
      Find out more
    • Product_Rotator_nXDS_Pump nXDS 涡旋泵
      nXDS 具备出色的抽排能力、极限真空性能和最先进的设计特性,性能居同类产品之首。
      Find out more
    • Product_Rotator_SpectraG_Abatement Spectra G 减排
      Spectra-G 是用于氮化物 MOCVD 制造的一种具有成本效益的高性能排气处理解决方案。
      Find out more
    • Product_Rotator_STP_Pump STP Turbo 泵
      多轴磁力轴承系统用于在操作期间悬起转轴,确保没有污染风险,同时将振动、噪音以及维护需求降至最低。STP Turbo 泵是长时间无碳氢化合物的泵操作的首选泵。
      Find out more
    • Product_Rotator_iGX iGX 干泵
      iGX 干泵的峰值速度范围很大,并有多种型号可选,能满足各种应用程序的需求,包括从清洁到中等负荷工艺。
      Find out more
    • Product_Rotator_EZENITH EZENITH
      先进的系统组合为您的半导体加工应用提供了完全集成的真空和废气管理解决方案。
      Find out more
    • Product_Rotator_iH1000 iH 干泵
      iH 干泵为高难度的工艺(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品)提供高度可靠、成本低廉的泵解决方案。
      Find out more
    • Product_Rotator_ES_Pump ES 泵
      最大限度提高您的生产效率和性能。对单级油封旋转式叶片泵的重要改进。
      Find out more

  • 使用 Download_Icon 图标下载出版物全文。

    使用 Print_Icon 图标仅打印所需页面。

    无法查看我们的交互式产品目录?| 下载 PDF 版本