应用

平板显示器
我们丰富多样的 STP Maglev 涡轮分子泵旨在最大限度地提高基板吞吐量和最终零湿度制程条件,同时尽可能降低功耗、占地面积和重量。
LED
我们最新的 STP Maglev 涡轮分子泵产品系列是适用于大容量高流速应用的“一体化”低功耗紧凑型解决方案。
光电
我们的 STP Maglev 涡轮分子泵已进行优化,可满足客户的特定应用要求,同时具有卓越的制程气体处理能力、始终如一的性能的最高可靠性。
半导体加工
完全磁悬浮转子经过专门设计,降低了舱室污染并延长了维修间隔,使得 STP Maglev 涡轮分子泵成为您的制程工具的可靠之选。
产品系列
先进的
高吞吐量系列
全新的“优势”系列
磁悬浮涡轮泵经过专门设计,可提供下一代
半导体蚀刻和 CVD 制程所需的最高吞吐量
级别。它们是以超可靠、高性能 H 系列产品
为基础,通过持续改进技术开发而成。
其先进的转子技术和 3D 叶片设计与一系列可供选择的
最佳材料相结合,因而能够在与现有的许多型号相同的
占用空间内创造出下一代高吞吐量涡轮泵。
该系列包含的泵具有 300 l/s 到 4500 l/s 的生产效率,
吞吐量高达 6 slm,并具有更高的 H2、N2 和 Ar
性能。
完全
集成的控制器和电源
这是真正的一体化涡轮泵
解决方案,具有出色的特性并可实现节省。
完全集成的控制器不再需要非集成控制器
通常所需的连接电缆和机架,有助于减小
占地面积,节省宝贵的工厂用地以及安装时间和
成本。此外,板载控制器包含一个小型电源,
与现有产品相比,它可在高气体流量下实现
大约 32% 的能耗降低。此系列产品的生产效率
为 300 l/s 到 4500 l/s,这意味着它是许多制程和应用的
理想选择。
超
高真空
超高真空系列
磁悬浮涡轮分子泵是供许多半导体、表面科学
或高能物理领域使用的首选泵。这种泵
具有无与伦比的可靠性、性能、清洁程度以及一流的
低振动级别。这些泵全部是直流供电,无需使用
电池,采用一个具有自动调节和先进诊断功能的
半机架控制器。该系列中泵的速度范围为 300 l/s
到 1000 l/s,极限压力小于 10-10 mbar(CF 法兰),另外
还有一个用于严苛制程的“C”型。
超
高真空低振动系列
超高真空低振动
型包含超高真空涡轮分子泵的所有特性,
另外还有一个内置隔振器,可提供超低振动
性能。
STP 控制器
通过从我们的 SCU 控制器
系列中进行选择,选择正确的控制器以便与您的 STP Maglev 涡轮泵配合使用。
SCU-350 控制器
SCU-350 控制器是符合 EU-RoHS 标准
的控制器,适用于小型涡轮泵。它完全兼容
当前的控制器型号,但是低频范围下的抗振性
更好。它的输入电压也
较低,有助于降低电气容量和工具
功耗。SCU-350 的电噪抗扰度得到提高,并具有
通用电压功能,工作电源电压范围为 100-240 VAC,
无需进行切换。
SCU-800 控制器
SCU800 涡轮泵控制器是一种
完全数字化的控制器,对于中型泵具有卓越的兼容性。
新的 AVR(自动减振)技术可进一步降低
振动级别,而高级预维护调用功能可以提前通知
准确的维护时间。
SCU-1600 控制器
完全数字化的 SCU-1600 涡轮泵控制器与 2000 l/s 到 4500 l/s
范围内的 STP 涡轮泵兼容。它提供可靠性、增强的
通信功能以及泵的兼容性,减少了对后备装置的要求
并极大降低了总运行成本。