STP Maglev 真空分子涡轮泵

平板显示器
我们丰富多样的 STP Maglev 涡轮分子泵旨在最大限度地提高基板吞吐量和最终零湿度制程条件，同时尽可能降低功耗、占地面积和重量。

LED
我们最新的 STP Maglev 涡轮分子泵产品系列是适用于大容量高流速应用的“一体化”低功耗紧凑型解决方案。 

光电
我们的 STP Maglev 涡轮分子泵已进行优化，可满足客户的特定应用要求，同时具有卓越的制程气体处理能力、始终如一的性能的最高可靠性。

半导体加工 
完全磁悬浮转子经过专门设计，降低了舱室污染并延长了维修间隔，使得 STP Maglev 涡轮分子泵成为您的制程工具的可靠之选。 

先进的 高吞吐量系列
全新的“优势”系列 磁悬浮涡轮泵经过专门设计，可提供下一代 半导体蚀刻和 CVD 制程所需的最高吞吐量 级别。它们是以超可靠、高性能 H 系列产品 为基础，通过持续改进技术开发而成。 其先进的转子技术和 3D 叶片设计与一系列可供选择的 最佳材料相结合，因而能够在与现有的许多型号相同的 占用空间内创造出下一代高吞吐量涡轮泵。 该系列包含的泵具有 300 l/s 到 4500 l/s 的生产效率， 吞吐量高达 6 slm，并具有更高的 H₂、N₂ 和 Ar 性能。 

完全 集成的控制器和电源
这是真正的一体化涡轮泵 解决方案，具有出色的特性并可实现节省。  完全集成的控制器不再需要非集成控制器 通常所需的连接电缆和机架，有助于减小 占地面积，节省宝贵的工厂用地以及安装时间和 成本。此外，板载控制器包含一个小型电源， 与现有产品相比，它可在高气体流量下实现 大约 32% 的能耗降低。此系列产品的生产效率 为 300 l/s 到 4500 l/s，这意味着它是许多制程和应用的 理想选择。  

超 高真空 
超高真空系列 磁悬浮涡轮分子泵是供许多半导体、表面科学 或高能物理领域使用的首选泵。这种泵 具有无与伦比的可靠性、性能、清洁程度以及一流的 低振动级别。这些泵全部是直流供电，无需使用 电池，采用一个具有自动调节和先进诊断功能的 半机架控制器。该系列中泵的速度范围为 300 l/s 到 1000 l/s，极限压力小于 10^-10 mbar（CF 法兰），另外 还有一个用于严苛制程的“C”型。 

超 高真空低振动系列
超高真空低振动 型包含超高真空涡轮分子泵的所有特性， 另外还有一个内置隔振器，可提供超低振动 性能。  

通过从我们的 SCU 控制器 系列中进行选择，选择正确的控制器以便与您的 STP Maglev 涡轮泵配合使用。

SCU-350 控制器
SCU-350 控制器是符合 EU-RoHS 标准 的控制器，适用于小型涡轮泵。它完全兼容 当前的控制器型号，但是低频范围下的抗振性 更好。它的输入电压也 较低，有助于降低电气容量和工具 功耗。SCU-350 的电噪抗扰度得到提高，并具有 通用电压功能，工作电源电压范围为 100-240 VAC， 无需进行切换。

SCU-800 控制器
SCU800 涡轮泵控制器是一种 完全数字化的控制器，对于中型泵具有卓越的兼容性。 新的 AVR（自动减振）技术可进一步降低 振动级别，而高级预维护调用功能可以提前通知 准确的维护时间。 

SCU-XL800 控制器
完全数字化的 SCU-XL800 涡轮泵 控制器与 600 l/s 到 1300 l/s 范围内的 STP 涡轮泵 兼容。SCU-XL800 可降低 300 Hz 以下的振动级，这种级别的振动使用机械隔振器 很难消除。它使用数字信号处理器 (DSP) 技术， 可在整个频谱范围内实现亚毫微米的振动级。 此控制器适用于电子显微镜检查、度量学和光刻系统， 在这些系统中，低的振动对于应用至关重要。

SCU-1600 控制器
完全数字化的 SCU-1600 涡轮泵控制器与 2000 l/s 到 4500 l/s 范围内的 STP 涡轮泵兼容。它提供可靠性、增强的 通信功能以及泵的兼容性，减少了对后备装置的要求 并极大降低了总运行成本。