• iGX 干泵真空系统

    iGX 干式真空泵系列为 大修之间零维护现代干泵树立了新标准;这 使其成为了世界上最受欢迎的干泵之一,目前已在大多数 领先的 300mm 工厂中安装了 20,000 套以上。 iGX 系列包括 MicroTIM 工具 接口和以太网连接,允许通过网页查看 主要数据,同时包括一套全面的网络选项, 可确保泵持续运转。

    iGX 泵的峰值速度范围 很宽,并可以改变以适合各种应用条件,包括从清洁 到中等负载制程。模块化设计允许用户对 iGX 干泵 进行配置以适合各个工厂的要求。紧凑的占地面积允许使用多种安装 选项,包括工具上、近程和远程操作。

    通过使用 iGX 干泵技术, 整个工厂通常可以在设施成本方面实现 40%* 的节省 (与 iL/iH 干泵相比)。  

    *基 于包含 200 个工具、537 台泵/70% iGX 泵、30% iH 泵/ iGX 配有恒流水阀的 300mm 美国工厂。


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  • 应用
    主要特性和优势
    泵系列
  • 我们的历史

    当 F.D.Edwards 从 1939 年开始制造真空设备直到现在,他所做出的技术创新承诺一直被秉承为我们的工作核心。

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  • 产品文档

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    iGX 干泵产品手册

  • Standard_Callout_Image_Fabworks

    Edwards 提供了 FabWorks 智能监控系统,这是一套针对真空和废气管理设备的全面状况监控和分析系统。

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