• iXH 干式工业级真空泵系统

    iXH 系列干泵产品是 Edwards 的市场领先 iH 产品的换代升级,为严苛制程能力 树立了新标准,它在世界上的许多 300mm 半导体和平板 工厂内通过提高制程可靠性实现低拥有成本。

    可满足 FPD、太阳能、 半导体和 LED 制造业中日益提高的气体流量要求的 完美大容量干泵和增压泵系列。 除了具有高峰值抽取速度外,这些泵还配备多种特性 以确保在严苛制程中具有最大可靠性。

    iXH 泵采用模块化设计,符合 当今的制程要求,并且对于前沿工厂中不断涌现的应用挑战 有着路线明确的应对计划。



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  • 应用
    主要特性和优势
  • 我们的历史

    当 F.D.Edwards 从 1939 年开始制造真空设备直到现在,他所做出的技术创新承诺一直被秉承为我们的工作核心。

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