• iXL 高性能干式真空泵机组

    iXL 系列干泵满足 平板显示器 (FPD)、半导体和太阳能制造市场 领域涉及的所有排气要求。

    这些性能领先的 泵旨在最大限度地提高基板吞吐量,同时尽可能降低功耗、 占地面积和重量。此外,大修间隔期内无须 维护。


        

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  • 适用于半导体和太阳能应用的小型 iXL 干泵
    适用于严苛应用的大型 iXL 干泵
    适用于 Applied Materials 制程平台的 IPUP
  • 我们的历史

    Edwards 从 1939 年开始制造真空设备直到现在,他所做出的技术创新承诺一直被秉承为我们的工作核心。

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