• Edwards EPX-Trockenpumpen

    Die EPX-Baureihe unterstützt saubere Halbleiterverarbeitungsanwendungen mit geringer Beanspruchung, wie z. B. Zerlegung/Veraschung oder Implanter-End- Station-Anwendungen.

    Die EPX-Baureihe vereint die Möglichkeit zum Pumpen am Werkzeug mit einer sehr leichten und kleinen Bauweise und stellt ein außerordentlich reines Vakuum bereit. Dank eines einzigartigen, patentierten einwelligen regenerativen Holweck®-Stufenmechanismus sind EPX-Pumpen zum Evakuieren von Atmosphärendruck bis zu einem Endvakuum von <7 x 10-7Torr geeignet.

    EPX-Pumpen stellen verbesserte Leistung in einer modularen Bauweise bereit und können daher in ein Prozesswerkzeug integriert oder ferninstalliert werden. Die integrierte MicroTIM-Elektronik ermöglicht zudem einfache Kommunikations- verbindungen zum Prozesswerkzeug.



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  • Anwendungen
    Eigenschaften und Vorzüge
    Pumpenbaureihen
  • Unsere Geschichte

    Als F.D. Edwards 1939 mit der Fertigung von Vakuumausrüstung begann, verpflichtete er sich der technischen Innovation, die auch heute noch Kernstück unserer Arbeit ist.

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