• Edwards Luftreinhaltungs- und Vakuumanlagen für die Flachbildschirmproduktion

    Die Herstellung von Flachbildschirmen erfordert Vakuum- und Abgasmanagementanlagen, die für große Prozessräume geeignet sind und bei maximaler Zuverlässigkeit einen hohen Gasdurchsatz liefern. Für das Abpumpen von toxischen, pyrophorischen und korrosiven Gasen sind Vakuumpumpen erforderlich, die zugleich große Mengen an festen Prozessnebenprodukten bewältigen können, die innerhalb der Prozesskammern entstehen. Unsere führende Position in der Branche wird von unseren Kunden deutlich bestätigt, indem sie sich immer wieder für unser Unternehmen als ihren Partner der Wahl entscheiden.  

    Aufgrund unserer Erfahrungen im Bereich der Flachbildschirmproduktion konnten wir Lösungen entwickeln, die Prozessprobleme unserer Kunden beheben und ihre Produktivität optimieren konnten. Unsere breite Palette an trockenlaufenden und Turbomolekularpumpen (TMPs) sind darauf ausgelegt, den Substratdurchsatz zu maximieren und Prozessbedingungen von 0 % relativer Luftfeuchtigkeit herzustellen, während Energieverbrauch, Gewicht und Umweltbelastung minimiert werden. Diese Technologie ist kombiniert mit unseren Abgasmanagementsystemen, die einen hohen Gasdurchsatz bewältigen können und ein effizientes Management von toxischen und zündfähigen Gasen gewährleisten. Profitieren Sie von langen Wartungsintervallen und der Möglichkeit, mehrere Kammern an ein System anzuschließen, für eine vollständig integrierte Vakuum- und Abgasmanagementlösung. Die Einführung eines neuen, innovativen Designs trockenlaufender Pumpen, einschließlich der Modelle iXH, iXL und iXM, hat dazu geführt, dass bei gleichbleibend hohem Produktionsdurchsatz und geringem Energieverbrauch die Anzahl der pro Kammer erforderlichen Prozesspumpen reduziert werden konnte. Der ökologische Modus kommt für einen verringerten Stromverbrauch während Pumpenstillstandszeiten zum Einsatz. 

    Die Nachfrage nach immer interaktiveren, dünneren und flexibleren Geräten mit höheren Auflösungen fordert uns heraus, immer bessere Lösungen zu finden, mit denen sich die Betriebskosten reduzieren und die Prozessbetriebszeiten verbessern lassen.   Was auch immer die Zukunft der Displayproduktion bringt – Sie können sich darauf verlassen, dass wir die Herausforderung annehmen und weiterhin Schlüsseltechnologien für die Displayherstellung bereitstellen werden.

                   

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