• Gamma UHV-Pumpen und Zubehör

    Einfangpumpentechnologien erreichen Umgebungen mit Hochvakuum (HV) und und Ultrahochvakuum (UHV) in verschiedenen Anwendungen, von tragbaren Massenspektrometern bis hin zu großen Teilchenbeschleunigern. Sie können das niedrigstmögliche Vakuum mit geringen Kosten herstellen. 

    Edwards bietet ein Spektrum an Ionenpumpen, Titansublimationspumpen, hochreaktiven Getterpumpen und Zubehör ausschließlich über Gamma Vakuuman.

    Ionenpumpen
    Ionenpumpen werden auch als Sputterionenpumpen oder Ionengetterpumpen bezeichnet und sind Einfangpumpen, die Gase durch den Einsatz einer Anoden-/Kathodenanordnung ionisieren. Ionen zerstäuben reaktive Kathodenmaterialien und lösen eine chemische Reaktion aus, bei der ionisierte Gase in feste Bestandteile umgewandelt werden. Diese Bestandteile tragen nicht mehr zum Druck des Vakuumsystems bei und sind permanent in der Ionenpumpe „eingefangen“. Ionenpumpen können im Bereich zwischen 10-5 bis 10-12 mbar betrieben werden und verfügen über Saugvermögen von 0,2 bis 1.200 l/s Stickstoff.

    Titan-Sublimationspumpen
    Bei Titan-Sublimationspumpen (Titanium Sublimation Pumps, TSPs) wird ein Titanheizfaden erhitzt und Titanmoleküle auf eine Oberfläche aufgedampft (sublimiert, direkter Übergang des festen Stoffes in den gasförmigen Zustand). Sublimierte Titanmoleküle reagieren dann chemisch mit reaktiven Gasen wie Sauerstoff oder Stickstoff und spalten und diffundieren Wasserstoff.  TSPs können zwischen 10-5 und 10-12 mbar betrieben werden und haben ein Saugvermögen von mehr als 10.000 l/s Wasserstoff.

    Hochreaktive Getterpumpen
    Hochreaktive Getterpumpen (Non-Evaporable Getter Pumps, NEG-Pumpen) sind reaktive Metalle, die auf feste Substrate gepresst oder in Scheiben gesintert wurden. Eine spezielle Kombination von Zirkonium, Vanadium und Eisen ist am besten für HV- und UHV-Umgebungen geeignet. Die eingesetzte Materialmenge legt die Drehzahl und die Kapazität der NEG-Pumpen fest, diese variieren für gewöhnlich zwischen 50 und 3.500 l/s Wasserstoff. Da die NEG-Pumpen mit Gasen gesättigt werden, können sie, ohne in die Umgebung zu entlüften, reaktiviert werden.

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  • Unsere Geschichte

    Als F.D. Edwards 1939 mit der Fertigung von Vakuumausrüstung begann, verpflichtete er sich der technischen Innovation, die auch heute noch Kernstück unserer Arbeit ist.

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  • Produktdokumentation

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  • Video: Wie Ionenpumpen funktionieren

  • Video: Betrieb der Gamma-Titansublimationspumpen