• Edwards integrierte Systeme und Sub-Fab-Lösungen

    Die vollständig integrierten und flexiblen Vakuum- und Abgasmanagementlösungen von Edwards sichern einen risikofreien Betrieb bei gefährlichen Prozessen und reduzieren Ihre Gesamtbetriebskosten.

    Wir möchten Ihnen die besten Lösungen für Halbleiterprozesse bieten. Wir verfügen über einzigartige Erfahrungen mit Sub-Fab-Lösungen. Das weltweite Anwendungsfachwissen von Edwards gewährleistet, dass jedes System mit der besten Hard- und Software ausgestattet ist, die besten Vakuum- und Abgasmanagementmaßnahmen bietet und geeignete Ergänzungsausstattungen verfügbar sind, sodass eine optimale Installation und ein zuverlässiger Betrieb gewährleistet werden können.

    Unsere gesamten integrierten Systeme wurden auf der Grundlage unserer weltweiten Erfahrung konzipiert. Wir sind Marktführer im Bereich Vakuum- und Abgasmanagementlösungen und wissen daher, was funktioniert. Wir führen kontinuierlich Neuerungen ein und verbessern unsere Produkte, um die Spitzenleistungen zu erbringen, die Sie von Edwards erwarten.

       

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  • EUV
    EZENITH
  • Unsere Geschichte

    Als F.D. Edwards 1939 mit der Fertigung von Vakuumausrüstung begann, verpflichtete er sich der technischen Innovation, die auch heute noch Kernstück unserer Arbeit ist.

    Erfahren Sie mehr über unsere Geschichte

  • Produktdokumentation

    Weitere Informationen zum Produktangebot an integrierten Lösungen finden Sie unter

    Broschüre zu Abgasmanagement- und integrierten Lösungen

  • FabWorks-iMS-Überwachung

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    Im Rahmen seiner Mehrwertdienste bietet Edwards das FabWorks Intelligent Monitoring System an, ein umfassendes Zustandsüberwachungs- und Analysesystem für Vakuum- und Abgasmanagementgeräte.

    Weitere Informationen zu FabWorks

  • Präsentation: Öko-Modus

  • Video: Öko-Modus