• Vakuumtechnologie von Edwards für die LED-Herstellung

    Die Nachfrage nach LEDs steigt aufgrund ihrer enormen Vorteile im Vergleich zu anderen Beleuchtungstechnologien stark an. Im Vergleich mit Glühlampen verfügen sie zum Beispiel über eine bis zu zehnfache Lebensdauer und verbrauchen weniger als ein Viertel der Energie. Es gibt zahllose Beleuchtungsmöglichkeiten, und die Herausforderungen für LED-Hersteller steigen, angesichts kleinerer Größen, schnellerer Schaltungen und höheren Stückzahlen die anspruchsvollen Prozessanforderungen zu erfüllen und gleichzeitig die Produktionskosten zu senken.  

    Für LEDs mit kürzerer Wellenlänge (grün-blau) werden nitridbasierte Werkstoffe verwendet, während für längere Wellenlängen (rot-gelb) phosphidbasierte Werkstoffe eingesetzt werden. Jeder Werkstoff bringt besondere Prozessherausforderungen bei der Auswahl sowohl der Vakuumpumpe als auch des Abgasmanagements mit sich, da viele der verwendeten Werkstoffe ausgesprochen schädlich oder gefährlich im Umgang sind. 

    Dank unserer enormen Erfahrung im Halbleiterbereich sind wir in der einzigartigen Position, LED-Hersteller dabei zu unterstützen, weitere Technologien zur Verarbeitung von Siliziumdioxid- Wafern wie Ätzen, PECVD-Beschichtung oder ICP-Chipherstellung in ihren Prozess zu übernehmen. Unsere Vakuum- und Abgasmanagementprodukte können hohe Durchflussraten von Wasserstoff und Ammoniak während des gesamten kritischen Prozesses mit hoher Sicherheit und Effizienz simultan handhaben. 

    Bei LED-Herstellungsprozessen kommt typischerweise MOCVD mit hohen Durchsätzen von leichtem Wasserstoff und hochkorrosiven Ammoniakgasen zum Einsatz. Die in unser Produktsortiment integrierte Technologie wurde für diese Herausforderungen optimiert. Jedes unserer iH-, iXH- undiXL-Sortimente trockenlaufender Pumpen verfügt über eine verbesserte Pulverhandhabungsfähigkeit und ist hochresistent gegenüber korrosiven Gasen bei geringeren Abmessungen und Gewicht. Und die neueste Baureihe der STP Maglev- Turbomolekularpumpen stellt eine „All-in-One“-Lösung mit niedriger Leistung für Anwendungen mit großem Volumen und Durchsatz dar.  

    Eines der Abgasmanagementprodukte ist unser preisgekröntes Spectra-G 3000, das für die Handhabung hoher Gaskapazitäten bei GaN-Anwendungen konzipiert ist und an das bis zu sechs MOCVD-Tools angeschlossen werden können. Zur einfachen Verwendung hat sich Atlas™ bei GaAs-Anwendungen mit hohen Wasserstoffströmen mit nach innen gerichteter Verbrennungstechnik von Alzeta™ bewährt, um die Betriebskosten deutlich zu reduzieren. Alle unsere Abgasreinigungssysteme senken sowohl die Umweltauswirkungen Ihrer Prozesse als auch die Betriebskosten.  

    Edwards ist auf dem neusten Stand der LED-Herstellungstechnologie. Mit unseren Produkten sind wir ein Schlüsselfaktor für den Erfolg unserer Kunden. Unser Ziel ist es, unseren Kunden echte Vorteile zu bieten, um auch für kommende Generationen eine saubere und lebenswerte Umwelt sicherzustellen. Unsere Anwendungsexperten können Sie auf allen Stufen des LED- Herstellungsprozesses zu den vorteilhaftesten Produkten für Ihre Anforderungen beraten. 

           

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