• Erstklassige Lösungen | Unsere meistverkauften Produkte

    • Product_Rotator_Gamma_Ion Gamma-UHV-Pumpe
      Zum Erreichen von Umgebungen mit Hochvakuum und Ultrahochvakuum (UHV) in verschiedenen Anwendungen, von tragbaren Massenspektrometern bis hin zu großen Teilchenbeschleunigern.
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    • Product_Rotator_iXL120 iXL-Vakuumpumpen
      Decken alle Abpumpanforderungen in den Marktsektoren Flachbildschirm- und Solarzellenherstellung ab.
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    • Product_Rotator_IPUP2 IPUP2-Vakuumpumpe
      Kompakte Vakuumpumpe mit geringem Energieverbrauch und einer Saugleistung von 180 m3/h, die für den Wafereinsatz sowie andere Reinigungsanwendungen geeignet ist. Sie ermöglicht das schnelle Abpumpen von Schleusensystemen bei äußerst geringem Energieverbrauch. 
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    • Product_Rotator_CXS_Pump Trockenlaufende CXS-Pumpen
      Selbst im Rahmen extrem anspruchsvoller chemischer und pharmazeutischer Prozessanwendungen bietet diese Pumpe hohe Zuverlässigkeit und ist zudem abgasfrei.
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    • Product_Rotator_Atlas_Abatement Atlas-Abgasreinigungssystem
      Verbrennungsabgasreinigungslösungen für die Halbleiter-, Flachbildschirm-, Solarzellen- und MOCVD-Herstellung mit verringerten Betriebskosten und mehr Flexibilität.
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    • Product_Rotator_EPX_Pump Trockenlaufende EPX-Pumpen
      Unterstützt saubere Halbleiterverarbeitungsanwendungen mit geringer Beanspruchung, wie z. B. Zerlegung/Veraschung oder Implanter-End-Station-Anwendungen.
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    • Product_Rotator_GXS_Pump Trockenlaufende GXS-Pumpen
      Die einzigartige Schraubentechnologie sowie branchenführende, hoch effiziente Antriebe, die eine fortschrittliche Temperaturregelung und lange Wartungsintervalle ermöglichen, bieten Ihnen für viele Jahre eine erstklassige Saugleistung bei geringen Betriebskosten.
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    • Product_Rotator_IXH_Pump iXH-Vakuumpumpen
      Bietet Spitzensaugleistungen und Funktionen für maximale Zuverlässigkeit bei anspruchsvollen Prozessen. Erfüllt die steigenden Gasdurchsatzanforderungen bei der Herstellung von Flachbildschirmen, Solarzellen, Halbleitern und LEDs. 
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    • Product_Rotator_nEXT_Pump nEXT-Turbopumpen
      Setzt neue Standards bei Turbopumpen für wissenschaftliche Anwendungen und bietet maximale Leistung, Zuverlässigkeit und Wartbarkeit durch Endbenutzer.
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    • Product_Rotator_nXDS_Pump nXDS-Scroll-Pumpen
      Außergewöhnliche Pumpkapazität, Endvakuumleistung und hochmoderne Bauweise – die leistungsfähigste Pumpe ihrer Klasse.
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    • Product_Rotator_SpectraG_Abatement Spectra G-Abgasreinigungssystem
      Kosteneffektive Hochleistungsabgasbehandlungslösung für die nitridbasierte MOCVD-Herstellung.
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    • Product_Rotator_STP_Pump STP-Turbopumpen
      Der Rotor wird beim Betrieb von einem magnetischen Lagersystem mit mehreren Achsen gehalten. Damit wird das Verunreinigungsrisiko gesenkt, und Vibrationen, Lärmentwicklung und Wartungsaufwand werden verringert. Die erste Wahl für kohlenwasserstofffreies Pumpen mit minimalen Ausfallzeiten.
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    • Product_Rotator_iGX iGX-Vakuumpumpen
      Erhältlich mit unterschiedlichsten Spitzendrehzahlen in zahlreichen Varianten zum Einsatz in Anwendungen mit leichter bis mittlerer Beanspruchung.
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    • Product_Rotator_EZENITH EZENITH
      Zahlreiche vollständig integrierte Vakuum- und Abgasmanagementlösungen für Prozessanwendungen im Bereich der Halbleiterherstellung.
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    • Product_Rotator_iH1000 iH-Vakuumpumpen
      Äußerst zuverlässige, kostengünstige Pumpe für anspruchsvolle Prozesse mit Partikel-, Kondens- oder Korrosionsnebenprodukten.
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    • Product_Rotator_ES_Pump ES-Pumpen
      Maximiert Ihre Produktivität und Leistung. Eine bemerkenswerte Weiterentwicklung der einstufigen, ölgedichteten Drehschieberpumpe.
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    • Product_Rotator_Gamma_Ion Gamma-UHV-Pumpe
      Zum Erreichen von Umgebungen mit Hochvakuum und Ultrahochvakuum (UHV) in verschiedenen Anwendungen, von tragbaren Massenspektrometern bis hin zu großen Teilchenbeschleunigern.
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    • Product_Rotator_iXL120 iXL-Vakuumpumpen
      Decken alle Abpumpanforderungen in den Marktsektoren Flachbildschirm- und Solarzellenherstellung ab.
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    • Product_Rotator_IPUP2 IPUP2-Vakuumpumpe
      Kompakte Vakuumpumpe mit geringem Energieverbrauch und einer Saugleistung von 180 m3/h, die für den Wafereinsatz sowie andere Reinigungsanwendungen geeignet ist. Sie ermöglicht das schnelle Abpumpen von Schleusensystemen bei äußerst geringem Energieverbrauch. 
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    • Product_Rotator_CXS_Pump Trockenlaufende CXS-Pumpen
      Selbst im Rahmen extrem anspruchsvoller chemischer und pharmazeutischer Prozessanwendungen bietet diese Pumpe hohe Zuverlässigkeit und ist zudem abgasfrei.
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    • Product_Rotator_Atlas_Abatement Atlas-Abgasreinigungssystem
      Verbrennungsabgasreinigungslösungen für die Halbleiter-, Flachbildschirm-, Solarzellen- und MOCVD-Herstellung mit verringerten Betriebskosten und mehr Flexibilität.
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    • Product_Rotator_EPX_Pump Trockenlaufende EPX-Pumpen
      Unterstützt saubere Halbleiterverarbeitungsanwendungen mit geringer Beanspruchung, wie z. B. Zerlegung/Veraschung oder Implanter-End-Station-Anwendungen.
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    • Product_Rotator_GXS_Pump Trockenlaufende GXS-Pumpen
      Die einzigartige Schraubentechnologie sowie branchenführende, hoch effiziente Antriebe, die eine fortschrittliche Temperaturregelung und lange Wartungsintervalle ermöglichen, bieten Ihnen für viele Jahre eine erstklassige Saugleistung bei geringen Betriebskosten.
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    • Product_Rotator_IXH_Pump iXH-Vakuumpumpen
      Bietet Spitzensaugleistungen und Funktionen für maximale Zuverlässigkeit bei anspruchsvollen Prozessen. Erfüllt die steigenden Gasdurchsatzanforderungen bei der Herstellung von Flachbildschirmen, Solarzellen, Halbleitern und LEDs. 
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    • Product_Rotator_nEXT_Pump nEXT-Turbopumpen
      Setzt neue Standards bei Turbopumpen für wissenschaftliche Anwendungen und bietet maximale Leistung, Zuverlässigkeit und Wartbarkeit durch Endbenutzer.
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    • Product_Rotator_nXDS_Pump nXDS-Scroll-Pumpen
      Außergewöhnliche Pumpkapazität, Endvakuumleistung und hochmoderne Bauweise – die leistungsfähigste Pumpe ihrer Klasse.
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      Kosteneffektive Hochleistungsabgasbehandlungslösung für die nitridbasierte MOCVD-Herstellung.
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    • Product_Rotator_STP_Pump STP-Turbopumpen
      Der Rotor wird beim Betrieb von einem magnetischen Lagersystem mit mehreren Achsen gehalten. Damit wird das Verunreinigungsrisiko gesenkt, und Vibrationen, Lärmentwicklung und Wartungsaufwand werden verringert. Die erste Wahl für kohlenwasserstofffreies Pumpen mit minimalen Ausfallzeiten.
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      Erhältlich mit unterschiedlichsten Spitzendrehzahlen in zahlreichen Varianten zum Einsatz in Anwendungen mit leichter bis mittlerer Beanspruchung.
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      Zahlreiche vollständig integrierte Vakuum- und Abgasmanagementlösungen für Prozessanwendungen im Bereich der Halbleiterherstellung.
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      Äußerst zuverlässige, kostengünstige Pumpe für anspruchsvolle Prozesse mit Partikel-, Kondens- oder Korrosionsnebenprodukten.
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      Maximiert Ihre Produktivität und Leistung. Eine bemerkenswerte Weiterentwicklung der einstufigen, ölgedichteten Drehschieberpumpe.
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