• Vakuumtechnologie von Edwards für Halbleiterindustrie und Mikroelektronik

  • Führende Technologie von Edwards


  • Halbleiterverarbeitung

    Wir werden auch zukünftig bei führenden Technologielösungen Innovationen einführen, um die Prozessbetriebszeiten, die Ausbeute, den Durchsatz und die Konformität mit Sicherheitsrichtlinien zu verbessern. Unser Ziel ist, die zahlreichen unterschiedliche Anforderungen in Einklang zu bringen, wie die Verringerung der Betriebskosten und die Reduzierung von Emissionen in die Umwelt oder die Verlängerung der Produktlebenszeiten bei gleichzeitiger Senkung der Kosten für regelmäßig erforderliche Wartungsarbeiten.

    Edwards beliefert alle führenden OEMs von Prozesswerkzeugen, und Produkte von Edwards sind weltweit in jedem größeren Halbleiterfertigungsbetrieb vertreten. Unsere Systeme wurden eigens dafür konzipiert, die speziellen Anforderungen vorhandener und in der Entwicklung befindlicher Prozesse zu erfüllen. Viele Systeme, beispielsweise trockenlaufende Vakuumpumpen, Turbomolekularpumpen und Abgasreinigungssysteme am Einsatzort, werden zur Optimierung der Leistung für das gesamte Anwendungsspektrum angeboten, von Prozessen mit leichter Beanspruchung bis hin zu Hochleistungsprozessen.

  • Lithographie
    Chemische Abscheidung aus der Gasphase
    Ätzen
    Physikalische Dampfphasenabscheidung
    Messtechnik
    Ionenimplantation
    Diffusion / Epitaxie / ALD
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    Unsere Mitgliedschaften

    Edwards ist Mitglied in mehreren SEMI-Organisationen weltweit.

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