• Edwards iGX-Serie: trockenlaufende Vakuumpumpen

    Die trockenlaufenden iGX-Vakuumpumpen bedürfen keinerlei Wartung zwischen den Überholungen; Mit 20.000 verkauften Einheiten, die in führenden 300 mm-Fertigungsanlagen verwendet werden, gehören sie zu den am weitesten verbreiteten trockenlaufenden Pumpen weltweit.  Die iGX-Serie beinhaltet sowohl eine MicroTIM-Anlagenschnittstelle als auch einen Ethernet-Anschluss, über den Schlüsseldaten auf Webseiten überwacht werden können, sowie umfassende Netzwerkoptionen, die eine kontinuierliche Verfügbarkeit der Pumpe gewährleisten.

    iGX-Pumpen sind mit unterschiedlichsten Spitzensaugvermögen in zahlreichen Varianten erhältlich, sodass sie in Anwendungen für leichte bis mittelschwere Prozesse eingesetzt werden können. Dank des modularen Systemaufbaus können Benutzer trockenlaufende iGX-Pumpen so konfigurieren, dass sie den einzelnen Anforderungen einer Fertigungsanlage entsprechen. Aufgrund der kompakten Stellfläche kann die Installation sowohl auf dem Prozesswerkzeug als auch in nächster Nähe oder weiter entfernt erfolgen.

    Normalerweise können die Betriebskosten durch die Verwendung von iGX-Vakuumtechnologien um 40%* gesenkt werden (im Vergleich zu trockenlaufenden iL/iH-Pumpen).   

    *Basierend auf einer amerikanischen 300 mm-Fertigungsanlage mit 200 Geräten, 537 Pumpen/70 % iGX-Pumpen, 30 % iH-Pumpen/ Die iGX-Serie ist mit einem Wasserventil für konstanten Durchfluss ausgestattet.


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  • Anwendungen
    Eigenschaften und Vorzüge
    Pumpenbaureihen
  • Unsere Geschichte

    Als F.D. Edwards 1939 mit der Fertigung von Vakuumausrüstung begann, verpflichtete er sich der technischen Innovation, die auch heute noch Kernstück unserer Arbeit ist.

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  • Produktdokumentation

    Weitere Informationen über die iGX-Baureihe

    Produktbroschüre trockenlaufende iGX-Pumpen

  • Standard_Callout_Image_Fabworks

    Im Rahmen seiner Mehrwertdienste bietet Edwards das FabWorks Intelligent Monitoring System an, ein umfassendes Zustandsüberwachungs- und Analysesystem für Vakuum- und Abgasmanagementgeräte.

    Weitere Informationen zu FabWorks

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