• Edwards iXH-Vakuumpumpsysteme

    Die iXH-Familie der trockenlaufenden Pumpen ist eine Weiterentwicklung der marktführenden iH-Produkte von Edwards und setzt neue Standards für die Eignung bei beanspruchenden Prozessen. Ihre Zuverlässigkeit bei Prozessen in vielen der Fertigungsanlagen für 300 mm-Halbleiter- und Flachbildschirmen der Welt hält die Betriebskosten niedrig.

    Das perfekte Sortiment trockenlaufender Hochleistungs- und Rootspumpen für die steigenden Gasdurchsatzanforderungen bei der Herstellung von Flachbildschirmen, Solarzellen, Halbleitern und LEDs. Neben hohen Spitzensaugvermögen verfügen diese Pumpen über Merkmale zur Sicherstellung maximaler Zuverlässigkeit bei anspruchsvollen Prozessen. 

    Mit ihrem modularen Design erfüllen iHX-Pumpen die aktuellen Anforderungen und verfügen über vorgeplante Reaktionen für kommende Anwendungsherausforderungen in Fertigungsanlagen der Spitzenklasse.



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  • Anwendungen
    Eigenschaften und Vorzüge
  • Unsere Geschichte

    Als F.D. Edwards 1939 mit der Fertigung von Vakuumausrüstung begann, verpflichtete er sich der technischen Innovation, die auch heute noch Kernstück unserer Arbeit ist.

    Erfahren Sie mehr über unsere Geschichte