• Edwards iXL: trockenlaufende Vakuumpumpen für hohe Leistung

    Die iXL-Familie der trockenlaufenden Pumpen deckt die gesamte Bandbreite der Abpumpanforderungen in den Marktsektoren Flachbildschirm- (FPD)-, Halbleiter- und Solarzellenfertigung ab.

    Diese Spitzenleistungspumpen wurden für eine Maximierung des Substratdurchsatzes bei Minimierung von Leistung, Standfläche und Gewicht konzipiert. Zudem besteht zwischen den Überholungen kein Wartungsbedarf.


        

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  • Kleine trockenlaufende iXL-Pumpen für Semi- und Solaranwendungen
    Kleine trockenlaufende iXL-Pumpen für anspruchsvolle Anwendungen
    IPUP für Applied Materials-Prozessplattformen
  • Unsere Geschichte

    Als F.D. Edwards 1939 mit der Fertigung von Vakuumausrüstung begann, verpflichtete er sich der technischen Innovation, die auch heute noch Kernstück unserer Arbeit ist.

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