• Bombas seca de vacío EPX 

    La serie EPX admite aplicaciones de procesamiento de semiconductores limpias y de trabajo ligero como las aplicaciones para cenizas/bandas y estaciones finales de implante.

    La serie EPX ofrece bombeo en la herramienta en un paquete muy pequeño y ligero que entrega un vacío extremadamente limpio. Al usar un mecanismo de etapas Holweck® regenerativas de un solo eje, patentado y único, las bombas EPX pueden evacuar a la atmósfera hasta presiones finales de <7 x 10-7Torr.

    Al ofrecer un rendimiento mejorado en un paquete modular, las bombas EPX se pueden integrar en una herramienta de proceso o montarse remotamente. La electrónica de MicroTIM integrada también proporciona conexiones de comunicación simples con la herramienta del proceso.



    Standard_Body_Image_EPX

  • Aplicaciones
    Características y ventajas clave
    Gamas de bombas
  • Nuestra historia

    Cuando F.D. Edwards comenzó a fabricar equipos de vacío en 1939, realizó un compromiso con la innovación técnica que permanece sólidamente en el corazón de lo que hacemos en la actualidad.

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