Aplicaciones
Pantalla de panel plano
Nuestra extensa gama de bombas turbomoleculares de levitación magnética STP se diseñó para maximizar el rendimiento de los sustratos y la condición final del proceso sin humedad, a la vez que se minimiza la energía, el espacio y el peso.
LED
Nuestra gama más reciente de bombas turbomoleculares de levitación magnética STP es la solución compacta "todo en uno" de baja energía para aplicaciones de gran volumen y flujo alto.
Fotovoltaico
Nuestras bombas turbomoleculares de levitación magnética STP están optimizadas para cumplir con las aplicaciones específicas del cliente, con manejo excepcional del gas de proceso, rendimiento constante y confiabilidad máxima.
Procesamiento de semiconductores
El rotor que levita de forma completamente magnética se diseñó para reducir el riesgo de contaminación en la cámara y extender los intervalos de servicios, haciendo de las bombas turbomoleculares de levitación magnética STP la opción confiable para la herramienta del proceso.
Gamas de productos
Serie
avanzada de alto rendimiento
La nueva serie “Advantage” de
turbobombas de levitación magnética se diseñó para entregar los niveles más altos
de rendimiento necesario por la próxima generación de grabado de semiconductores y
procesos de CVD. Se desarrolló usando técnicas de mejoramiento continuo,
desde la serie de productos H ultraconfiables de alto rendimiento.
Su tecnología de rotor avanzada y diseño de aletas 3D, combinada con la selección de
los mejores materiales ha permitido la creación de la próxima generación de turbobombas
de alto rendimiento dentro del mismo espacio que muchos de los modelos existentes.
La gama contiene bombas con velocidades de rendimiento de 300 l/s a 4500 l/s, con
rendimiento hasta de 6 slm y mayor rendimiento de H2, N2 y
Ar.
Controlador
completamente integrado y suministro de energía
Esta es realmente la solución de turbobomba
todo en uno que ofrece excelentes características y ahorros.
El controlador completamente integrado elimina el cable de conexión y el rack
necesarios convencionalmente con un controlador no integrado; esto ayuda a reducir
el espacio, lo que ahorra un bien valioso en la fábrica, así como también tiempo de instalación
y costo. Además, el controlador integrado incorpora un suministro de energía pequeño,
que en comparación con los productos existentes, entrega aproximadamente un 32 por ciento
de reducción en el consumo de energía a flujos altos del gas. La gama opera con
velocidades de rendimiento de 300 l/s a 4500 l/s; es decir, esta es una opción para muchos
procesos y aplicaciones.
Vacío
ultraalto
La serie de bombas turbomoleculares de levitación
magnética de vacío ultraalto es el producto de preferencia para muchas industrias
de semiconductores, ciencia de superficies o física de alta energía. Ofrecen
confiabilidad, rendimiento y limpieza sin paralelo, y bajos niveles de
vibración líderes en su clase. Las bombas se alimentan con CC, lo que elimina la necesidad de
baterías, usa un controlador de medio rack que cuenta con ajuste automático y
característica de diagnóstico avanzado. La gama incluye bombas con velocidades de 300 l/s
a 1000 l/s y una presión final de <10-10 mbar (brida CF), más una versión de
“C” para el proceso severo también está disponible.
Serie de
vacío alto y baja vibración
La versión de baja vibración de vacío ultraalto
incorpora todas las características de la bomba turbomolecular de
vacío ultraalto, además un aislador integrado de la vibración entregará un
rendimiento de vibración ultrabaja
Controladores STP
Seleccione el controlador correcto para el socio
con la turbobomba de levitación magnética STP al elegir en nuestra gama de unidades de control SCU.
Unidad de control SCU-350
La unidad de control SCU-350 es un controlador que cumple con EU-RoHS
para turbobombas de tamaño pequeño. Es completamente compatible con
los modelos de unidades de control actual, pero tiene una propiedad de vibración mejorada a
una gama de frecuencia baja. También tiene un voltaje de entrada
menor, lo que contribuye a una reducción en el consumo de la capacidad eléctrica y la
energía de la herramienta. SCU-350 mejoró la inmunidad al ruido y está equipada con
la función de voltaje universal para operación con voltaje de suministro de 100-240 VCA
sin cambio.
Unidad de control SCU-800
La unidad de control de la turbobomba SCU800 es un
controlador completamente digital, y tiene una compatibilidad perfecta con las bombas de tamaño mediano.
La nueva tecnología AVR (reducción automática de la vibración) logra una mayor reducción en
los niveles de vibración, y la función de llamada avanzada previa al mantenimiento ofrece
un aviso avanzado del tiempo de mantenimiento preciso.
Unidad de control SCU-XL800
La unidad de control de la turbobomba SCU-XL800
es compatible con las turbobombas STP que varían de 600 l/s a 1300
l/s. La nueva SCU-XL800 reduce los niveles de
vibración de menos de 300 Hz que son difíciles de eliminar con aisladores
mecánicos de la vibración. Logra niveles de vibración subnanométricos en el
espectro de frecuencias con las técnicas avanzadas del procesador de señales digitales (DSP).
El controlador es apto para uso con sistemas de microscopio electrónico, metrología y
litografía donde la baja vibración es crítica para la aplicación.
Unidad de control SCU-1600
La unidad
de control de la turbobomba SCU-1600 completamente digital es compatible con las turbobombas STP
que varían de 2000 l/s a 4500 l/s. Ofrece confiabilidad, comunicación
mejorada y compatibilidad de las bombas con los menores requisitos de la unidad de respaldo y
el menor costo de propiedad general.