• Tenemos bombas de vacío y la familia iXH de productos de bomba para paneles planos y materiales semiconductores. 

  • Tecnología líder de Edwards


  • Procesamiento de semiconductores

    Seguimos innovando en las soluciones de tecnología líderes que mejorarán su tiempo de actividad de proceso, el rendimiento y el cumplimiento de seguridad a la vez que se esfuerzan por equilibrar los requisitos de menor costo de propiedad a través de emisiones ambientales reducidas y duraciones prolongadas del producto con una reducción de los costos constantes del servicio.

    Al prestar servicio a todos los OEM líderes de la herramienta del proceso y con presencia en cada fábrica importante de semiconductores en el mundo, nuestros sistemas se diseñaron para cumplir con los requisitos específicos de los procesos actuales y en desarrollo. Se ofrece una variedad de sistemas, como las bombas secas de vacío, las bombas turbomoleculares y los sistemas de reducción del punto de uso para optimizar el rendimiento en la gama de aplicaciones, desde el trabajo ligero hasta los procesos de trabajo más pesado.

  • Litografía
    Deposición de vapor químico
    Grabado
    Deposición de vapor físico
    Metrología
    Implementación de ion
    Difusión / Epitaxis / ALD
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    Nuestras membrecías

    Edwards participa en varias semimembrecías globalmente.

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