• Pompes à vide sèches EPX500 et autres

    La série EPX convient aux applications propres et légères de traitement des semi-conducteurs, comme l'incinération/le décapage et les applications d'implantation des stations terminales.

    La série EPX propose un pompage sur outil dans un ensemble très compact et léger tout en garantissant un vide particulièrement propre. Grâce à un mécanisme à étages Holweck® de régénération à un axe unique et breveté, les pompes EPX peuvent évacuer des pressions limites exceptionnelles de l'atmosphère.

    Les pompes EPX offrent performance améliorée et modularité. Elles peuvent être intégrées sur un équipement ou installées à distance. L'électronique MicroTIM intégrée fournit également des connexions de communication simples à l'équipement.



    Standard_Body_Image_EPX

  • Applications
    Caractéristiques principales et avantages
    Gammes de pompes
  • Notre histoire

    Lorsque F.D. Edwards a commencé à concevoir des équipements de vide en 1939, il s'est engagé à ce que l'innovation technologique reste au cœur de notre activité.

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