• Système de pompes sèches iGX

    Les pompes à vide sèches de la série iGX innovent en éliminant tout besoin d'entretien entre les révisions. Elles sont ainsi devenues les pompes sèches les plus populaires du monde, avec plus de 20 000 unités installées dans la plupart des plus grands ateliers de plaquettes 300 mm.  La gamme iGX inclut l'interfaçage d'outil MicroTIM et une connexion Ethernet qui permet de consulter les principales données par le biais de pages Web, ainsi que de nombreuses options de mise en réseau pour assurer une disponibilité permanente de la pompe.

    Les pompes iGX sont proposées dans une large plage de débits maximaux et de modèles afin de répondre à des applications diverses allant des procédés propres aux procédés modérés. Une conception modulaire permet aux utilisateurs de configurer les pompes sèches iGX en fonction des exigences spécifiques de chaque usine. Un encombrement réduit permet diverses options d'installation, y compris sur l'outil, à proximité ou à distance.

    L'utilisation des pompes sèches iGX (par rapport aux pompes sèches iL/iH) permet généralement une économie de 40 %* sur les coûts de consommation d'énergie et des consommables pour l'ensemble d'une usine.   

    *Sur la base d'un atelier de plaquettes 300 mm aux Etats-Unis comprenant 200 outils, 537 pompes / 70 % de pompes iGX, 30 % de pompes iH/ iGX avec vanne à débit constant.


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  • Applications
    Caractéristiques principales & avantages
    Gammes de pompes
  • Notre histoire

    Lorsque F.D. Edwards a commencé à concevoir des équipements de vide en 1939, il s'est engagé à ce que l'innovation technologique reste au cœur de notre activité.

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  • Documentation produit

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    Brochure sur les pompes sèches iGX (en anglais uniquement)

  • Surveillance FabWorks-iMS

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    Edwards propose le système de surveillance intelligent FabWorks-iMS, un système complet d'analyse et de surveillance des conditions pour les équipements de vide et de traitement des effluents gazeux.

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