• EPX真空ドライ ポンプ

    EPXシリーズは、 アッシュ/ストリップおよびインプラント エンド ステーション アプリケーションなど、クリーンで低負担の半導体処理アプリケーションを サポートします。

    EPXシリーズは非常に小型軽量なパッケージながら オンツール ポンプ機能を提供し、非常にクリーンな真空を実現します。特許取得済みの 独自の単一軸再生式Holweck®ステージ メカニズムを使用すれば、EPXポンプは 大気圧から7 x 10-7 Torrの到達圧力までの排気が可能です。

    EPXポンプはモジュール式パッケージにおける高い性能を提供しており、 プロセス ツールに統合したり、離れた場所に取り付けたりすることが できます。また、統合型MicroTIMエレクトロニクスもプロセス ツールへの シンプルな通信接続を提供します。



    Standard_Body_Image_EPX

  • 用途
    主な特長と利点
    ポンプ シリーズ
  • 当社の歴史

    F.D.Edwardsが1939年に真空装置の製造を開始したときに、彼が技術革新に捧げた情熱は、今日の私たちのものづくりの礎となっています。

    当社の歴史の詳細