• EXTターボ分子ポンプ 

    EdwardsのEXT複合ターボ分子ポンプは、信頼性が高く炭化水素を使用しない高真空および超高真空を実現します。

    EXT設計では、機械式下部セラミック軸受け、乾式永久磁石製上部軸受け、およびホルウェック ドラッグ ステージという実証済みの技術を採用しています。オンボード コントローラとDC 24 Vモータを搭載することで簡便性も向上しており、フォアラインの高臨界圧でも最小限の保守しか必要としない振動のないオイル フリーの運転を実現しました。 

    • コンパクト設計:
      効率的なシステム構築が可能
    • 高い信頼性:
      乾式永久磁石製上部軸受けとオイル潤滑底部軸受けによる心配無用の動作
    • EdwardsのTAGおよびTICターボ インスツルメント コントローラとの互換性:
      ゲージ コントローラを装備することなく最大3個の真空計を追加可能
    • RoHS準拠
    • CSA/ULC承認済み

    Standard_Body_Image_EXT

  • 用途
    主な特長と利点
    ポンプ シリーズ
  • 当社の歴史

    F.D.Edwardsが1939年に真空装置の製造を開始したときに、彼が技術革新に捧げた情熱は、今日の私たちのものづくりの礎となっています。

    当社の歴史の詳細