• ガンマイオン真空ポンプ - 高真空と超高真空技術

    排気回収技術は、携帯用質量分析計から大規模な粒子加速器に至るまで、さまざまなアプリケーションで高真空(HV) や超高真空(UHV)環境を 提供します。これらの技術により、 経済的コストで可能な限りの最低真空が実現します。 

    Edwardsでは、 Gamma Vacuumを通じて、各種のイオン ポンプ、チタン サブリメーション ポンプ、非蒸発性ゲッター ポンプ、およびアクセサリを独占的に提供しています。

    イオン ポンプ
    スパッタ イオン ポンプまたはイオン ゲッター ポンプとも呼ばれるイオン ポンプは、 陽極アレイや陰極アレイを使用してガスをイオン化する回収ポンプです。イオンが反応性陰極物質をスパッタリングして 化学反応が発生し、イオン化ガスが固体化合物に 変化します。これらの化合物は 真空システムの圧力に貢献せず、イオン ポンプ内で永久的に 回収されます。イオン ポンプは 10-3~10-10 Paの範囲で動作し、 0.2~1,200 l/sの窒素排気速度を実現しています。

    チタン サブリメーション ポンプ
    TSPは、チタン フィラメントを加熱し、 表面のチタン分子を昇華(固相から気相に変換)することで動作します。昇華したチタン分子は 酸素や窒素などの関連ガスと化学反応を起こし、 水素を切り離して拡散することができます。  TSPは10-3~10-10 Paの範囲で動作し、 10,000 l/sを超える水素排気速度を実現します。

    非蒸発性ゲッター ポンプ
    NEGは、固体基板上に圧縮されたり、 ディスクに焼結されたりする活性金属です。 ジルコニウム、バナジウム、および鉄の特定の組み合わせにより、 HVおよびUHV環境で最適に機能することがわかっています。 使用する物質の量により、NEGポンプの速度や容量が制御されますが、 通常の水素排気速度範囲は50~3,500 l/sとなります。NEGはガスで飽和状態になると、 大気に廃棄せずにガスを再活性化することができます。

    詳細については以下からGamma製品のパンフレットをダウンロードするか、Gammaの Webサイトをご覧ください。

    Standard_Body_Image_Gamma_Pumps

  • 当社の歴史

    F.D.Edwardsが1939年に真空装置の製造を開始したときに、彼が技術革新に捧げた情熱は、今日の私たちのものづくりの礎となっています。

    当社の歴史の詳細

  • Gamma Vacuumへのお問い合わせ

    Gammaロゴ

    TiTanイオン ポンプやアクセサリに関心をお持ちですか。

    Gamma Vacuumへのお問い合わせ

  • 製品資料

    Gammaのイオン ポンプ技術と製品の詳細...

    View Available Downloads

  • 動画:イオンポンプの機能

  • ビデオ: チタン サブリメーション ポンプの動作(英語のみ)