• LEDメーカー向け高負荷真空ポンプと除害装置

    LEDの爆発的な需要を牽引しているのは、 他の照明技術と比較した際の大きな利点です。たとえば、白熱電球と比較すると、 LEDの寿命は10倍も長く、エネルギーの消費量は4分の1以下 です。サイズの縮小化、 スイッチの高速化、および出力の向上など、照明の可能性は無限大 です。LEDメーカーは、プロセスの高需要に対応しつつ、製造コストを削減するという課題に 直面しています。 

    短波長LED(緑色~青色)では窒化物ベースの材料が使用されますが、 長波長LED(赤色~黄色)ではリン化物ベースの 材料が使用されます。使用される材料の多くは 非常に有害であるか処理に危険が伴うため、それぞれの材料には真空ポンプと除害の選択に関して プロセスの特有の課題があります。 

    半導体分野で得られた幅広い経験により、 LEDメーカーがエッチング、PECVD、ICPチップ製造などのシリコン ウエハ処理技術を プロセスに導入する際に独自の立場から サポートできます。当社の真空装置および除害装置 は、高いレベルの安全性と効率性を保ちつつ、重要なプロセス全体を通じて 大流量の水素およびアンモニアを同時に処理できるように なっています。 

    LEDの製造プロセスでは一般的に、大流量の軽水素と腐食性の強い アンモニア ガスを伴うMOCVDが使用されます。当社の製品シリーズに取り入れられている 高度な技術により、これらの課題に対応できるよう最適化されて います。当社のiHiXH、およびiXLドライ ポンプ シリーズでは、それぞれが設置面積と重量を削減しつつも、粉体処理機能の向上と 腐食性ガスに対する高い耐性を実現しています。また、STP磁気浮上 ターボ分子ポンプは、大容量かつ高流量の用途に適した低消費電力設計の“オールインワン” なコンパクト ソリューションです。 

    除害装置には、GaN用途で大容量のガスを処理するよう設計されている、受賞歴のあるSpectra-G 3000 が含まれています。この装置には最大 6個のMOCVDツールを接続することができます。Atlas™の 使いやすさは、高流量の水素を使用するGaAs用途で実証されています。 また、Alzeta™内部燃焼技術の採用により、所有コストの大幅な削減が 実現します。当社の除害システムはすべて、事業による環境への影響を削減し、 運用コストを削減します。 

    LED製造の技術が発展するにつれて、 Edwardsも発展し続けます。当社は重要なメーカーであり、当社の製品はお客様の成功に関して 重要な役割を果たしています。当社の目標 は、当社のお客様に本当のメリットを提供することです。これにより、 これからの世代のために世界をよりきれいで輝かしいものにします。当社のアプリケーション専門家は、LED製造プロセスのあらゆる段階で 最適な製品に関するアドバイスを行い、お客様のニーズを満たすことができます。 

           

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