• ワールドクラスのソリューション | 需要の大きい製品

    • Product_Rotator_Gamma_Ion ガンマUHVポンプ
      携帯用質量分析計から大規模な粒子加速器に至るまで、さまざまなアプリケーションで高真空および超高真空(UHV)環境を提供します。
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    • Product_Rotator_iXL120 iXLドライ ポンプ
      フラット パネル ディスプレイ(FPD)および太陽電池製造の市場部門で直面する幅広いポンプ ダウン要件に対応しています。
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    • Product_Rotator_IPUP2 IPUP2ドライ ポンプ
      180m3/hの出力を持つコンパクトで低エネルギーのドライ ポンプで、ウエハ処理や他のクリーン デューティ用途に使用できます。低いエネルギー消費でロード ロック室の高速ポンプ ダウンを実現します。 
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    • Product_Rotator_CXS_Pump CXSドライ ポンプ
      極めて困難な化学および製薬処理アプリケーションにおいても、高い信頼性と排ガスが発生しないポンプ環境を提供します。
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    • Product_Rotator_Atlas_Abatement Atlas除害
      半導体、フラット パネル ディスプレイ、太陽電池、およびMOCVDのメーカーに、運転コストの削減と使いやすさの向上を提供する燃焼ガス除害ソリューションです。
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    • Product_Rotator_EPX_Pump EPXドライ ポンプ
      アッシュ/ストリップおよびインプラント エンド ステーション アプリケーションなど、クリーンで低負担の半導体処理アプリケーションをサポートします。
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    • Product_Rotator_GXS_Pump GXSドライ ポンプ
      ユニークなスクリュー技術および高効率のドライブにより、高度な温度調整と長期のサービス間隔を可能にし、クラス最高の排気速度と低ランニング コストを実現しています。
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    • Product_Rotator_IXH_Pump iXHドライ ポンプ
      ピーク排気速度が高く、過酷なプロセスでも高度な信頼性を発揮する機能を搭載しています。FPD、太陽電池半導体、およびLEDの製造産業で直面する厳しいガス流量要件にも対応しています。 
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    • Product_Rotator_nEXT_Pump nEXTターボ ポンプ
      科学分野のターボ ポンプで新たなベンチマークとなっており、最高のターボ ポンプ パフォーマンス、信頼性、およびエンド ユーザーの保守性を提供しています。
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    • Product_Rotator_nXDS_Pump nXDSスクロール ポンプ
      優れたポンプ機能、究極の真空パフォーマンス、および最新の設計機能を備え、クラス最高のパフォーマンスを提供するポンプです。
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    • Product_Rotator_SpectraG_Abatement スペクトラG除害
      窒化物MOCVD製造で優れた費用対効果とパフォーマンスを発揮する排気処理ソリューションです。
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    • Product_Rotator_STP_Pump STPターボ ポンプ
      多軸磁気ベアリング システムを使用して運転中にロータを浮上させるため、汚染のリスクがなく、振動、騒音、保守の必要性が最小化されます。稼働時間が長く、炭化水素を使用しないポンプでは第一候補となります。
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    • Product_Rotator_iGX iGXドライ ポンプ
      さまざまなピーク排気速度のモデルがあるため、クリーン プロセスからミディアム デューティ プロセスまで、幅広い用途に対応できます。
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    • Product_Rotator_EZENITH EZENITH
      あらゆる半導体プロセス アプリケーション用に完全に統合された真空および排気管理ソリューションを提供して、システムの高度なポートフォリオをもたらします。
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    • Product_Rotator_iH1000 iHドライ ポンプ
      微粒子や凝縮性または侵食性の副産物が存在する困難なプロセスで活躍する信頼性の高い低コストのポンプです。
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    • Product_Rotator_ES_Pump ESポンプ
      生産性とパフォーマンスを最大限にすることができます。シングル ステージ油封式ロータリ ベーン ポンプで顕著な進展がありました。
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    • Product_Rotator_Gamma_Ion ガンマUHVポンプ
      携帯用質量分析計から大規模な粒子加速器に至るまで、さまざまなアプリケーションで高真空および超高真空(UHV)環境を提供します。
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      フラット パネル ディスプレイ(FPD)および太陽電池製造の市場部門で直面する幅広いポンプ ダウン要件に対応しています。
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    • Product_Rotator_IPUP2 IPUP2ドライ ポンプ
      180m3/hの出力を持つコンパクトで低エネルギーのドライ ポンプで、ウエハ処理や他のクリーン デューティ用途に使用できます。低いエネルギー消費でロード ロック室の高速ポンプ ダウンを実現します。 
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      極めて困難な化学および製薬処理アプリケーションにおいても、高い信頼性と排ガスが発生しないポンプ環境を提供します。
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    • Product_Rotator_IXH_Pump iXHドライ ポンプ
      ピーク排気速度が高く、過酷なプロセスでも高度な信頼性を発揮する機能を搭載しています。FPD、太陽電池半導体、およびLEDの製造産業で直面する厳しいガス流量要件にも対応しています。 
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    • Product_Rotator_SpectraG_Abatement スペクトラG除害
      窒化物MOCVD製造で優れた費用対効果とパフォーマンスを発揮する排気処理ソリューションです。
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      多軸磁気ベアリング システムを使用して運転中にロータを浮上させるため、汚染のリスクがなく、振動、騒音、保守の必要性が最小化されます。稼働時間が長く、炭化水素を使用しないポンプでは第一候補となります。
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      さまざまなピーク排気速度のモデルがあるため、クリーン プロセスからミディアム デューティ プロセスまで、幅広い用途に対応できます。
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      生産性とパフォーマンスを最大限にすることができます。シングル ステージ油封式ロータリ ベーン ポンプで顕著な進展がありました。
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