• 半導体などのマイクロ エレクトロニクス デバイスのメーカー向け真空ポンプ システム

  • Edwardsの先端技術


  • 半導体処理

    当社は、先端技術ソリューションを革新し続けることでプロセスの稼動時間、歩留まり、排気量、安全規定の遵守を向上させます。同時に、環境排出物の削減、長い製品寿命、および継続的な整備コストの削減による所有コストの削減といった、多くの場合は相反する要件の均衡を保ちます。

    当社のシステムは、最先端のプロセス ツールにOEM供給され、世界中のあらゆる主要な半導体工場で利用されており、既存のプロセスと発展中のプロセスの要件を満たすように設計されています。ドライ真空ポンプ、ターボ分子ポンプ、使用現場の除害システムなどのさまざまなシステムは、低負荷のプロセスから最も高負荷のプロセスまで、幅広い用途にわたってパフォーマンスを最適化します。

  • リソグラフィー
    化学蒸着
    エッチング
    物理蒸着
    計測
    イオン注入
    拡散ポンプ/エピタキシー/ ALD
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    当社の加盟

    Edwardsは複数の半導体メンバーシップにグローバルに参加しています。

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