• iXHドライ真空ポンプ システム

    ドライ ポンプ製品のiXHファミリは Edwardsの市場をリードするiH製品を発展させたもので、過酷なプロセスにおける能力の 新たな基準を打ち立てました。そのため、世界中にある 多くの300mm半導体工場やラット パネル ディスプレイ製造工場におけるプロセスの信頼性による低所有コストが実現しています。

    大容量のドライ ポンプとブースタの完全なシリーズは、 FPD、太陽電池、半導体、およびLEDの製造産業で直面する厳しいガス流量要件にも対応しています。 さらに、これらのポンプはピーク排気速度が高く、 過酷なプロセスでも高度な信頼性を発揮する機能を搭載しています。

    iXHポンプはモジュール型の設計で、 今日のプロセス要件に対応しており、最先端の工場における新たな用途の課題に対して 将来を見据えた対応が可能です。



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  • 用途
    主な特長と利点
  • 当社の歴史

    F.D.Edwardsが1939年に真空装置の製造を開始したときに、彼が技術革新に捧げた情熱は、今日の私たちのものづくりの礎となっています。

    当社の歴史の詳細