• iXL高パフォーマンス ドライ真空ポンプ

    iXLファミリのドライ ポンプは、 フラット パネル ディスプレイ (FPD)、半導体、および太陽電池製造の市場部門で直面する幅広いポンプ ダウン要件に対応しています。

    最先端のパフォーマンスを提供するこれらのポンプは、 最小限の電力、設置面積、重量で、基板スループットを最大化するように 設計されています。さらに、オーバーホール以外の保守は 必要ありません。


        

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  • 半導体および太陽電池用途向けの小型iXLドライ ポンプ
    過酷な用途向けの大型iXLドライ ポンプ
    Applied Materialsプロセス プラットフォーム向けIPUP
  • 当社の歴史

    F.D.Edwardsが1939年に真空装置の製造を開始したときに、彼が技術革新に捧げた情熱は、今日の私たちのものづくりの礎となっています。

    当社の歴史の詳細