• edwards 무공해 EPX 진공 건식 펌프

    EPX 시리즈는 애싱(Ashing)/포토레지스트 제거 및 주입 엔드 스테이션 응용 분야 같은 무공해 및 저부하 반도체 공정 응용 분야를 지원합니다.

    EPX 시리즈는 소형 경량 패키지로 온툴 펌핑을 제공하고 극히 완벽한 진공 상태를 제공합니다. 특허받은 고유의 단일 샤프트 재생 Holweck 단계 메커니즘을 사용하는 EPX 펌프는 대기압 상태에서 최대 압력 <7 x 10-7Torr까지 배출할 수 있습니다.

    모듈식 패키지로 향상된 성능을 제공하는 EPX 펌프는 프로세스 도구에 내장하거나 원격으로 장착할 수 있습니다. 또한 내장된 MicroTIM 전자 부품을 통해 프로세스 도구와의 통신 연결을 간단하게 합니다.



    Standard_Body_Image_EPX

  • 응용 분야
    주요 기능 및 장점
    펌프 범위
  • Edwards 역사

    F.D. Edwards가 1939년에 진공 장비의 제조를 처음 시작했을 때는 그는 기술 혁신에 노력할 것을 약속했으며 그 약속은 아직도 우리의 가슴 속에 굳건히 남아 있습니다.

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