• 평판 디스플레이 산업용 진공 및 Edwards 공기 오염 제어 장비

    FPD(평판 디스플레이) 제조 공정에는 거대한 공정 챔버를 받쳐 주고 높은 가스 유량을 가장 안정적으로 전달하는 진공 및 제거 장비 케이블이 필요합니다. 유독성, 자연발화성 및 부식성 가스를 펌핑하고, 제조 공정 챔버에서 이루어지는 대량의 제품별 고체 공정을 처리하기 위해 진공 펌프가 필요합니다. 변함없이 Edwards를 파트너로 선택하는 여러 고객들을 통해 Edwards의 기술 리더십이 충분히 입증되었습니다.  

    FPD 분야에서 쌓은 경험을 통해 Edwards는 고객의 공정 문제를 해결하고 생산성을 최적화하는 솔루션을 개발해 왔습니다. Edwards의 폭넓은 건식 및 TMP(터보 분자 펌프)는 기판 처리량을 극대화하고 습도가 0인 공정 상태를 이용하는 한편 전력, 공간 및 무게를 최소화하도록 설계되었습니다. Edwards의 배기부 관리 시스템과 더불어 높은 가스 유량을 관리하는 케이블, 가연성 유독 가스의 효율적 제거 기능이 제공되며 서비스 기간이 길고 여러 챔버를 도구 하나에 연결할 수 있어 진공 및 제거 솔루션이 완벽하게 통합됩니다. 건식 펌프(iXH, iXL 및 iXM 포함)에 혁신적인 설계를 새롭게 도입하여 각 챔버에 필요한 공정 펌프 수를 줄이면서도 낮은 전력 입력과 유휴 기간에 유틸리티를 줄이는 친환경 모드로 높은 생산 처리량을 유지할 수 있습니다. 

    Edwards는 해상도와 대화형 기능이 향상된 유연한 초박형 장치에 대한 미래의 요구에 부응하여 소유 비용을 줄이고 공정 가동 시간을 개선해 줄 보다 스마트한 솔루션을 개발합니다.   미래의 디스플레이에 어떤 기능이 필요하건 Edwards는 이 문제에 현명하게 대처하며 계속해서 디스플레이 제조 공정의 주역이 될 것입니다.

                   

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