• LED 제조를 위한 고부하 진공 펌프 및 에드워드 제거 솔루션 

    다른 조명 기술에 비해 뛰어난 장점을 가진 LED의 수요가 급증하고 있습니다 예를 들어 백열 전구에 비해 LED는 수명이 10배나 길고 에너지 소비량은 1/4에 불과합니다. 조명으로서의 가능성이 무궁무진하지만 LED 제조업체들은 크기 축소, 스위칭 시간 단축, 출력 향상 등 다양한 공정 요구에 직면해 있으며 한편으로는 제조 비용 절감이라는 문제를 안고 있습니다.  

    파장이 짧은 LED(녹색-파랑)에는 질화물 계열 재료가 사용되고 파장이 긴 LED(빨강-노랑)에는 인화물 계열 재료가 사용됩니다. 특별히 유독성이거나 다루기 위험한 재료가 많이 사용되므로 각 재료는 진공 펌프 및 제거 선택에 있어 고유한 공정 문제를 안고 있습니다. 

    반도체 분야에서 축적된 다양한 경험으로 인해 Edwards는 식각, PECVD 및 ICP 칩 생산 등 다양한 실리콘 웨이퍼 처리 기술을 공정에 적용하는 과정에서 LED 제조업체를 지원할 수 있는 독보적 위치에 있습니다. Edwards의 진공 및 제거 제품은 중요한 전체 공정에서 탁월한 안전성과 효율성을 발휘하여 높은 수소 및 암모니아 유량을 동시에 처리할 수 있는 능력이 있습니다. 

    LED 제조 공정에서는 대개 농도가 흐린 수소와 부식성이 심한 암모니아 가스가 다량으로 흐르고 MOCVD가 사용되므로 Edwards 제품에 통합된 고급 기술이 이 문제에 맞게 최적화되었습니다. Edwards iH, iXHiXL 건식 펌프 제품은 각각 분말 처리 능력과 부식성 가스에 대한 저항력이 향상되었으며 제품이 차지하는 공간과 무게가 줄어들었습니다. 또한 STP maglev 터보 분자 펌프의 최신 제품군은 고용량, 고유량 분야에 맞게 낮은 전력으로 가동되는 소형 "올인원" 솔루션입니다.  

    제거 제품에는 MOCVD 도구를 6개까지 연결할 수 있어 GaN 응용 분야에서 다량의 가스를 처리하도록 설계되었으며 수상 실적으로 그 우수성이 입증된 Spectra-G3000이 있습니다. 사용 편의성을 위해 Atlas™는 GaAs에서 수소 유량이 많은 분야에 Alzeta™ 내부 점화 연소기 기술을 통합하여 소유 비용을 크게 낮추었다는 점이 드러났습니다. Edwards의 모든 제거 시스템은 제품을 가동할 경우 환경에 미치는 영향을 줄이고 운영 비용을 절감합니다.  

    LED 제조 기술의 개발로 Edwards와 그 제품은 고객의 성공에 중요한 역할을 담당해 왔습니다. Edwards의 목표는 다음 세대를 위해 더 깨끗하고 밝은 세상을 만들 수 있도록 고객에게 진정한 혜택을 제공하는 것입니다. Edwards의 분야별 전문가들은 고객의 요구에 가장 적합한 제품에 대해 LED 제조 공정의 모든 단계에서 여러분에게 조언해드릴 수 있습니다. 

           

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