• 반도체 포함 마이크로 전자 공학 장치 제조업체를 위한 edwards ixh 건식 진공 펌프 시스템

  • Edwards의 선도적 기술


  • 반도체 공정

    Edwards는 혁신적이고 선도적인 기술 솔루션을 지속적으로 개발하여 공정 가동 시간, 생산량, 처리량 및 안전 규정 준수를 향상시키면서도 환경 배출량 축소와 제품 수명 연장을 통한 소유 비용 절감 및 지속적 서비스 비용 절감이라는 상충하는 요구 사항을 고루 만족시킬 수 있도록 매진하고 있습니다.

    모든 선도적 프로세스 도구 OEM에 제품을 공급하고 세계의 모든 주요 반도체 제조 시설에 참여해 온 Edwards의 시스템은 기존 공정과 개발 중인 공정의 특정 요구 사항을 충족하도록 설계되어 있습니다. 저부하 공정에서부터 최고 부하 공정에 이르기까지 광범위한 응용 분야에서 성능을 최적화하기 위해 건식 진공 펌프, 터보 분자 펌프 및 POU(Point-of-Use) 정화 처리 시스템 등의 다양한 시스템이 제공됩니다.

  • 리소그래피
    화학 증착
    식각
    물리 증착
    측정
    이온 주입
    확산/에피텍시/ALD
  •     

    Edwards_Market_Matrix_Semi       

    Edwards 멤버 자격

    Edwards는 전 세계에서 여러 SEMI 멤버 자격에 참여합니다.

    Membership_Logos_F450C(1)     Membership_Logos_Sematech     Membership_Logos_Semi