•  edwards igx100 건식 펌프 진공 시스템

    iGX 건식 진공 펌프 시리즈는 분해 검사 사이에 유지 보수 작업이 필요 없는 현대 건식 펌프의 새로운 표준을 정의했습니다. 이를 세계에서 가장 인기 있는 건식 펌프 중 하나가 되었고 20,000대 이상이 대부분의 선도적인 300mm fab에 설치되었습니다.  iGX 제품군은 MicroTIM 도구 인터페이싱과 Ethernet 연결을 모두 포함하고 있어 웹 페이지를 통해 주요 데이터를 볼 수 있으며 포괄적인 네트워킹 옵션 집합을 통해 지속적인 펌프 가용성을 보장합니다.

    iGX 펌프는 광범위한 최대 속도 및 사양으로 사용할 수 있으므로 세척에서 중간 부하 공정에 이르는 다양한 분야에 응용됩니다. 모듈식 설계를 사용하기 때문에 개별 fab 요구 사항에 맞게 iGX 건식 펌프를 구성할 수 있습니다. 설치 공간이 작아 온툴, 근접, 원격 작동 등을 포함한 설치 옵션이 가능합니다.

    iGX 건식 펌프 기술을 사용하면 iL/iH 건식 펌프에 비해 전체 fab에서 유틸리티 비용 40%* 절감을 실현할 수 있습니다.   

    *미국의 300mm fab에 200개 도구, 537대 펌프(70% iGX 펌프, 30% iH 펌프)가 포함된 경우 기준 정유량 용수 밸브와 함께 장착된 iGX.


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  • 응용 분야
    주요 기능 및 장점
    펌프 범위
  • Edwards 역사

    F.D. Edwards가 1939년에 진공 장비의 제조를 처음 시작했을 때는 그는 기술 혁신에 노력할 것을 약속했으며 그 약속은 아직도 우리의 가슴 속에 굳건히 남아 있습니다.

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  • 제품 설명서

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  • FabWorks-iMS 모니터링

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    Edwards는 진공 및 배기부 관리 장비를 위한 완벽한 상태 모니터링 및 분석 시스템인 FabWorks Intelligent Monitoring System을 제공합니다.

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