• iH 건식 반도체 진공 펌프 

    Edwards iH 건식 펌프는 미립자, 응축성 또는 부식성 부산물이 발생하는 까다로운 공정에 필요한 신뢰성이 높고 경제적인 펌프를 제공합니다. iH 시리즈에는 먼지 처리 성능을 향상시키는 한편 배기 소음을 줄여 주는 근본 설계에 혁신적인 외팔보 로터와 클로를 갖춘 5단 기본 펌프가 있습니다. 또한 iH 펌프에는 1단 메카니칼 부스터 펌프와 일체형 수냉식 모터가 장착되어 있습니다.

         

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  • 응용 분야
    기능 및 장점
    펌프 범위
  • Edwards 역사

    F.D. Edwards가 1939년에 진공 장비의 제조를 처음 시작했을 때는 그는 기술 혁신에 노력할 것을 약속했으며 그 약속은 아직도 우리의 가슴 속에 굳건히 남아 있습니다.

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  • 제품 설명서

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  • Standard_Callout_Image_Fabworks

    Edwards는 진공 및 배기부 관리 장비를 위한 완벽한 상태 모니터링 및 분석 시스템인 FabWorks Intelligent Monitoring System을 제공합니다.

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