• edwards iXH 건식 진공 펌프 시스템  

    iXH 건식 펌프 제품군은 시장을 선도하는 Edwards iH 제품군의 진화된 형태이며 세계의 여러 300mm 반도체 및 평판 패널 fab에서 공정 안정성을 통해 소유 비용을 낮춰 극한의 공정을 처리하는 능력의 새로운 기준을 제시합니다.

    매우 다양한 대용량 건식 펌프 및 부스터로 FPD, 태양열, 반도체 및 LED 제조 산업의 계속 늘어나는 가스 유량 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 이러한 펌프는 최대 배기 속력이 높을 뿐 아니라 열악한 공정에서 최대 안정성을 보장하는 기능을 갖추고 있습니다. 

    모듈식으로 설계된 iXH 펌프는 오늘날의 공정 요구 사항을 만족하고 첨단 fab의 새로운 응용 분야 과제에 로드맵 방식으로 대응합니다.



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  • 응용 분야
    주요 기능 및 장점
  • Edwards 역사

    F.D. Edwards가 1939년에 진공 장비의 제조를 처음 시작했을 때는 그는 기술 혁신에 노력할 것을 약속했으며 그 약속은 아직도 우리의 가슴 속에 굳건히 남아 있습니다.

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