• Bombas de vácuo secas EPX180 e EPX500

    A série EPX oferece suporte a aplicações limpas e leves de processamento de semicondutores como aplicações de estação final de implante e cinzas/faixa.

    A série EPX oferece bombeamento na ferramenta em um pacote muito pequeno e fornece vácuo excepcionalmente limpo. Usando um mecanismo regenerativo de estágio Holweck® exclusivo, patenteado e com eixo único, as bombas EPX são capazes de evacuar da atmosfera com máximo de pressão menor que 7 x 10-7Torr.

    Oferecendo desempenho aprimorado em um pacote modular, as bombas EPX podem ser integradas a uma ferramenta de processo ou montadas remotamente. Os componentes eletrônicos MicroTIM integrados também oferecem conexões de comunicação simples para a ferramenta de processo.



    Standard_Body_Image_EPX

  • Aplicações
    Principais recursos e benefícios
    Linhas de bombas
  • Nossa história

    Quando F.D. Edwards começou a fabricar equipamento a vácuo em 1939, ele fez um compromisso com a inovação técnica, que é a nossa base para tudo o que fazemos hoje.

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