• 愛德華廢氣處理系統 - 專為平板顯示器產業服務

    平板顯示器 (FPD) 製造過程中 使用的真空和廢氣處理設備,必須要可以支援大型製程室, 並且能提供最可靠的高氣體流速。真空泵浦 需要用來抽送有毒、易燃及腐蝕性氣體,並 處理在製程室中形成的大量固體副產品。我們的技術領導力 由我們的客戶一次又一次地選擇我們做為他們的夥伴, 清楚地展現。 

    我們在 FPD 的經驗讓我們能夠發展出 可以解決客戶製程問題和能將生產力最佳化的解決方案。我們提供種類繁多的乾式和 渦輪分子真空泵浦 (TMP),這些泵浦是設計用來將基板流通量和極限零濕度製程條件最佳化, 同時降低功率、體積和重量。可以和我們的廢氣 處理系統結合,能夠處理高氣體流量並有效地 進行有毒和可燃氣體的廢氣處理, 並提供很長的維修間隔,並有能力把多個製程室連接至 一項工具,形成一個完全整合的真空和廢氣處理解決方案。引進革新設計的乾式 泵浦,包括 iXHiXL 及 iXM,降低了每個製程室需要的製程泵浦數, 但仍舊可以低輸入電力達到高生產流通量, 以及在待機期間減少耗能的綠能模式。 

    未來會要求裝置有更高的解析度、更有 互動性、超薄且更有彈性,這挑戰我們要發展 更有智慧的解決方案,可以降低擁有成本並能改善製程的運作時間。  無論顯示器的 的未來會如何發展,您可以放心的是我們將會臨危不亂,並繼續 在顯示器製造過程中扮演最重要的推手。

                   

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