• Gamma 愛德華高真泵 – 高真空與超高真空技術

    捕捉泵浦技術建立高真空 (HV) 和 超高真空 (UHV) 環境,以達到從 可攜式質譜儀至大型粒子加速器等的各種應用。有了這些技術,能夠 在節省成本時建立可行的最低真空。 

    Edwards 提供透過 Gamma Vacuum 獨家生產的各種離子泵浦、鈦昇華泵浦、非蒸散型結拖泵浦以及配件。

    離子泵浦
    離子泵浦又稱為離子濺鍍泵浦或離子結拖 泵浦,是利用陽極/陰極陣列將氣體離子化的儲氣泵浦。離子濺鍍反應性陰極材料, 會產生化學反應,將離子化的氣體轉變為固態 化合物。這些化合物將不再 促成真空系統的壓力,而會永久存在離子泵浦內。 離子泵浦可以 操作的範圍介於 10-5 至 10-12 mbar 之間,可處理規模為 0.2 至 1,200 l/s 的氮氣。

    鈦昇華泵浦
    鈦昇華泵浦 (TSP) 作業的方式,是將鈦絲加熱,讓鈦分子 昇華 (將固相轉變為氣相) 到表面上。接著,昇華的鈦分子 便可以跟反應性氣體 (如氧氣和氮氣) 產生化學反應, 將氫氣解離並加以擴散。  TSP 可以操作的範圍介於 10-5 至 10-12 mbar 之間, 並具有超過 1 萬 l/s 的氫氣抽吸速度。

    非蒸散型結拖泵浦
    非蒸散型結拖 (NEG) 為已經加壓到固態 基質上或燒結成碟片的活性金屬。 由鋯、釩及鐵形成的特有組合, 可為 HV 與 UHV 環境發揮最佳效果。 材料用量會支配 NEG 泵浦的速度與容量,但 通常可抽吸 50 至 3,500 l/s 的氫氣。當 NEG 的氣體達到飽和時, 氣體不需通氣到大氣中,就可重新活化。

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    F.D.Edwards 於 1939 年開始製造真空設備時,便致力於科技創新,而現今的我們也仍秉持著這個核心理念。

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  • 影片:離子泵浦運作原理

  • 影片:鈦昇華泵浦作業