• LED 製造專用的 Edwards 真空機及解決方案

    LED 需求量激增是因為相較於 其他的照明技術,LED 有非常大的優勢。例如相較於白熾燈泡, LED 提供多 10 倍的壽命,而且只消耗不到四分之一的 能源。照明的 發展潛力無窮,因為使用更小的體積、更快的切換速度和提升的 輸出能力,LED 製造商面臨的挑戰是要滿足高製程要求但 又要降低製造成本。 

    波長較短的 LED (綠光-藍光) 使用以亞硝酸鹽為基底的 材料,而波長較長者 (紅光-黃光) 使用的是以磷酸鹽為基底的 材料。每種材料在 真空泵浦和廢氣處理選擇上都會面臨各自專屬的製程挑戰,因為很多 所使用的材料都具有特殊毒性或是處理上具危險性。 

    我們在半導體領域所取得的豐富經驗,讓我們 在支援 LED 製造商上處於一個獨特的地位,協助他們將更多的矽 晶圓處理技術 (例如蝕刻、PECVD 及 ICP 晶片生產) 導入 製程中。我們的真空和廢氣處理 產品有能力在整個重要的製程當中同時處理高流速的氫氣與氨氣, 並提供高等級的安全 與效能。 

    LED 製造過程通常使用 MOCVD,搭配高 流速的輕氫氣與高腐蝕性的氨氣, 我們產品系列所搭配的先進技術已經過最佳化,可以應付這些 挑戰。我們的 iHiXHiXL 乾式泵浦 系列,每一項都可提供更強的粉塵處理能力,且能高度抵抗 腐蝕性氣體,但是體積較小、重量也較為輕巧。最新的 STP maglev 渦輪分子真空泵浦系列為具有低功耗的「全方位」精簡解決方案, 適合大量、與高流量的應用。 

    廢氣處理產品包括了我們獲獎的 Spectra-G 3000, 其主要是在氮化鎵 (GaN) 應用中處理高氣體流量,最多可連接 六種 MOCVD 工具。在 使用的簡便性方面,已證實 Atlas™ 在砷化鎵 (GaAs) 應用上搭配高流量的氫氣, 再配合 Alzeta™ 的向內點火燃燒技術,可以 顯著地降低擁有成本。我們所有的廢氣處理系統都可降低您在作業過程中對 環境的影響,同時也可降低操作成本。 

    在發展 LED 製造技術的同時, Edwards 也同時在成長,我們是主要的推手,而且我們的產品在 客戶的成功上扮演重要的角色。我們的目標 是要提供真正的效益給我們的客戶,並從而為將來的世代 提供更乾淨更有希望的世界。我們的應用專家可以為您在 LED 製造過程的所有階段提供建議,針對您的需求選擇最適合的產品。 

           

    Edwards_Market_Matrix_LED