• 世界級解決方案 | 我們最受好評的產品

    • Product_Rotator_Atlas_Abatement Atlas 廢氣處理
      點火燃燒廢氣處理解決方案,可提供半導體、平板顯示器、太陽能以及 MOCVD 製造商更低的操作成本以及更簡易的使用性。
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    • Product_Rotator_EPX_Pump EPX 乾式泵浦
      有助於支援從事無塵與輕型半導體加工應用,例如灰化/去光阻與佈植終站等應用。
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    • Product_Rotator_IPUP2 IPUP2 乾式泵浦
      輕巧、低能量的 180m3/h 乾式泵浦,適合從事晶圓處理以及其他無塵作業應用。預載室帶來低耗能的快速抽氣效果。 
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    • Product_Rotator_iXL120 iXL 乾式泵浦
      全面因應平板顯示器 (FPD) 以及太陽能製造市場領域面臨的各項抽氣需求。
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    • Product_Rotator_CXS_Pump CXS 乾式泵浦
      帶來高可靠度,以及無流出物的抽氣效果;即使應用於最困難的嚴格化學與製藥處理應用也是如此。
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    • Product_Rotator_Gamma_Ion Gamma UHV 泵浦
      可在可攜式質譜儀至大型粒子加速器等多種應用中建立高真空和超高真空 (UHV) 環境。
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    • Product_Rotator_GXS_Pump GXS 乾式泵浦
      獨特的螺旋技術及世界領先的高效率傳動;得以帶來先進的溫度控制,並提供很長的維修間隔;確保能達到同級最佳的抽吸速度,且運轉成本低。
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    • Product_Rotator_IXH_Pump iXH 乾式泵浦
      最大抽氣速度高,並配有可在惡劣製程中確保最大可靠性的功能。以因應平板顯示器 (FPD)、太陽能半導體以及 LED 製造業不斷增加的氣體流量要求。 
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    • Product_Rotator_nEXT_Pump nEXT 渦捲式泵浦
      為科學用途的渦捲式泵浦豎立了全新指標。提供了最佳的渦捲式泵浦效能、可靠性與使用者供給能力。
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    • Product_Rotator_nXDS_Pump nXDS 渦捲式泵浦
      具備優越的抽氣功能、極限真空性能,以及最先進的設計特色;在同級泵浦產品中表現最佳。
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    • Product_Rotator_SpectraG_Abatement Spectra G 廢氣處理
      符合成本效益,排氣處理解決方案性能優異,適合氮化物 MOCVD 製造。
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    • Product_Rotator_STP_Pump STP 渦捲式泵浦
      多軸磁軸承系統可在作業期間用來懸吊轉子,確保無污染風險,同時有效減少震動、噪音與維護需求。是維持高度持續運轉、無碳氫抽氣的首選。
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    • Product_Rotator_iGX iGX 乾式泵浦
      提供各種不同的最大速度及系列機型,可滿足從無塵到中型製程等應用。
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    • Product_Rotator_EZENITH EZENITH
      擁有先進的系統產品組合,提供一套完全整合化的真空及排氣處理解決方案,能滿足您所有的半導體製程應用。
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    • Product_Rotator_iH1000 iH 乾式泵浦
      針對存有粉塵、可凝結或腐蝕性副產品的困難製程,提供高度可靠且低成本的泵浦。
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    • Product_Rotator_ES_Pump ES 泵浦
      最大化您的生產力與效能。單級油封迴轉葉片泵浦的重大進展。
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    • Product_Rotator_Atlas_Abatement Atlas 廢氣處理
      點火燃燒廢氣處理解決方案,可提供半導體、平板顯示器、太陽能以及 MOCVD 製造商更低的操作成本以及更簡易的使用性。
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    • Product_Rotator_EPX_Pump EPX 乾式泵浦
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      全面因應平板顯示器 (FPD) 以及太陽能製造市場領域面臨的各項抽氣需求。
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    • Product_Rotator_CXS_Pump CXS 乾式泵浦
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      最大抽氣速度高,並配有可在惡劣製程中確保最大可靠性的功能。以因應平板顯示器 (FPD)、太陽能半導體以及 LED 製造業不斷增加的氣體流量要求。 
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      符合成本效益,排氣處理解決方案性能優異,適合氮化物 MOCVD 製造。
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      提供各種不同的最大速度及系列機型,可滿足從無塵到中型製程等應用。
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    • Product_Rotator_EZENITH EZENITH
      擁有先進的系統產品組合,提供一套完全整合化的真空及排氣處理解決方案,能滿足您所有的半導體製程應用。
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    • Product_Rotator_iH1000 iH 乾式泵浦
      針對存有粉塵、可凝結或腐蝕性副產品的困難製程,提供高度可靠且低成本的泵浦。
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      最大化您的生產力與效能。單級油封迴轉葉片泵浦的重大進展。
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