濕式抽吸Edwards RV 泵浦用於濕式應用的主要優點:
- 具有任何迴轉葉片泵浦無法比擬的蒸氣抽吸容量
- 特殊模式選擇器開關讓泵浦在高流量時保持潤滑
- 具有任何迴轉葉片泵浦都不及的 220 g/hr (使用 RV12 泵浦,可達 290 g/hr) 最高氣體鎮流量,賦予極佳的水蒸氣處理能力
- 選用回油套件,可確保油液在泵浦內保持高流量
針對與氟橡膠 (FKM) 密封不相容的溶劑和蒸氣應用時,可使用耐酸橡膠 (Buna-N) 轉換套件。此外,若抽送大量氧化劑時,可指定 PFPE 油專用泵。
多塵
Edwards RV 泵浦針對「多塵」應用的主要優點
- 同級最佳的防回抽保護效果,可避免粉塵回到製程
利用油壓控制開啟,降低壓力遽增
因為有放泄閥,可於 0.4 秒內快速關閉泵浦 - 大直徑油路 (3-5mm),可避免阻塞
有些競爭對手的泵浦油路直徑少於 1mm
利用 PVD 和 CVD 應用在半導體產業的經驗所設計,Edwards RV 泵浦系列是多塵應用的理想選擇。
無塵/乾燥
Edwards RV 泵浦針對無塵/乾燥作業應用的主要優點
- 特殊模式選擇器開關讓泵浦在高流量時保持潤滑
- 選用回油套件,可確保油液在泵浦內保持高流量
- 同級最佳的防回抽保護效果,可避免油霧回到製程
利用油壓控制開啟,降低壓力遽增
因為有放泄閥,可於 0.4 秒內快速關閉泵浦
專利模式選擇器讓泵浦不論在高真空應用或高流通應用,都可順暢運作。針對高流通應用,可選用回油套件使泵浦持續保持高流通,油液也不會從排氣管路流掉。
氧化劑
Edwards RV 泵浦針對抽送氧化劑的主要優點:
- 具有任何迴轉葉片泵浦無法達到的最高氣體鎮流
能夠稀釋抽出的氣體,將油液氧化降到最低 - PFPE 系列可供使用
非常適合抽送氧氣與鹵化物
RV 泵浦的高強度氣體鎮流,能夠使氧氣流量變高,同時繼續稀釋至較低的爆炸限制範圍。當與選用回油套件結合,可避免氣體鎮流將所有油液吹進排氣裝置,且與 PFPE 油專用泵結合時,可避免油液氧化,RV 泵浦是處理氧氣的最佳選擇。RV 泵浦也同樣適合抽送其他氧化劑,例如鹵素和鹵化化合物。雖然這些化合物不易起火/爆炸,但氣體鎮流對於稀釋仍相當有用,以保護油液與軸承。應使用 PFPE 延長油液壽命。