• 愛德華半導體為業界提供優質的抽真空產品

  • Edwards 的領先技術


  • 半導體製程

    我們持續創新領先的技術解決方案,將可以改善您的製程運作時間、產量、流通量及安全合規性,同時在透過減少環境排放量來降低擁有成本,以及降低持續進行的維護成本來延長產品壽命,在這些經常視為相互衝突的要求上,我們努力求取平衡。

    我們的系統在設計上符合現有及開發中製程的特殊要求,因此不但為所有尖端製程工具 OEM 提供服務,在全球每家主要的半導體晶圓廠也都有我們的身影。提供各種系統,例如乾式真空泵浦、渦輪分子真空泵浦和使用地點的廢氣處理系統,可最大化各式應用 (從輕型到最重型製程) 的性能。

  • 微影製程
    化學氣相沉積
    蝕刻
    物理氣相沉積
    量測
    離子佈植
    擴散 / 磊晶 / ALD
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    我們的會員資格

    Edwards 擁有全世界數個半導體會員資格。

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