• IGX 100 乾式泵浦真空系統

    iGX 乾式真空泵浦系列 為現代乾式泵浦豎立了新的標準,在檢修之間無須維護;這 已經讓它成為世界上最受歡迎的乾式泵浦之一,已有超過 2 萬 部安裝在最先進的 300mm 半導體晶圓廠中。 iGX 應用範圍包括 MicroTIM 工具 銜接及乙太網路連接,讓主要資料能透過網頁檢視, 也提供完整的網路選項,以確保 泵浦的持續供貨。

    iGX 泵浦提供各種不同的 最大速度及系列機型,可滿足從清洗到 中型製程等應用。模組設計讓使用者可以按照各個晶圓廠的需求 設定 iGX 乾式泵浦。體積小巧,提供不同的安裝 選項,包括安裝於工具上、近距離安裝或遠端作業等。

    一般來說,利用 iGX 乾式泵浦技術, 可讓整座晶圓廠節省 40%*的運作成本 (與 iL/iH 乾式泵浦相比)。  

    *根據 一座包含 200 項工具,537 個泵浦 (70% iGX 泵浦,30% iH 泵浦, iGX 配置了定流水閥) 的美國 300mm 晶圓廠


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  • 應用方式
    主要功能與優點
    泵浦種類
  • 關於我們

    F.D.Edwards 於 1939 年開始製造真空設備時,便致力於科技創新,而現今的我們也仍秉持著這個核心理念。

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    《iGX 乾式泵浦產品手冊》(僅提供英文版)

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