• iXH 無油真空幫浦系統

    iXH 系列的乾式泵浦產品 屬於 Edwards 市場領先的 iH 產品進化版,為嚴苛製程能力樹立了新的標準。 其透過製程的可靠性,為世界上眾多 300mm 半導體與平板晶圓廠 降低擁有成本。

    大量抽氣型乾式泵浦 與輔助泵浦的種類相當齊全, 可滿足 FPD、太陽能、半導體及 LED 製造業日益上升的氣體流量需求。 這些泵浦不僅能產生最大抽氣速度,還配備了各項功能, 必定能為嚴苛的製程帶來最大的可靠度。

    透過模組設計,iXH 泵浦符合 現今的製程需求,並在面臨尖端晶圓廠的應用挑戰時, 做出明確縝密的回應。



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  • 應用方式
    主要功能與優點
  • 關於我們

    F.D.Edwards 於 1939 年開始製造真空設備時,便致力於科技創新,而現今的我們也仍秉持著這個核心理念。

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